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本发明公开了一种聚焦光束光斑半径测量方法，涉及激光光束测量技术领域，包括将第一透镜和第二透镜之间设置衰减片，第一透镜位于第二透镜的前方，第二透镜的后方设置有相机，待测光束由第一透镜的前方入射，将第一透镜的前焦点与待测光束的聚焦光斑位置重合，将衰减片与第一透镜的后焦点位置重合，将相机与第二透镜的后焦点位置重合，第一透镜的焦距为f1，第二透镜的焦距为f2，待测光束在第一透镜前的聚焦光斑半径和束腰半径均为W1，相机探测到的待测光束的光斑半径为wF，本发明可以对微米级聚焦光斑测量，光路成本低，衰减片引入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118089567A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410150804.3
(22)申请日2024.02.02
(71)申请人上海昊量光电设备有限公司
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