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光切显微镜
1范围
本文件规定了光切显微镜的分类、基本参数和技术要求,描述了相应的试验方法,规定了检验规则、
标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于采用光切原理测量表面粗糙度的幅度参数轮廓最大高度(R)和轮廓单元的平均高度
z
(R)的光切显微镜的制造。
c
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T2828.1计数抽样试验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T6388运输包装收发标志
GB/T9969工业产品使用说明书总则
GB/T11162光学分划零件通用技术条件
GB/T14436工业产品保证文件总则
GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件
GB/T25480-2010仪器仪表运输、贮存基本环境条件及检验验方法
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4分类和基本参数
4.1分类
依据所采用测微目镜的不同形式,光切显微镜(以下简称:仪器)具有下列两种类型:
r)单线测微目镜型;其特征是:目镜视场内仅具有一条瞄准线,线的方向与测微鼓轮轴线垂直(见
图1a);
s)十字线测微目镜型;其特征是:目镜视场内具有十字瞄准线,线的方向与测微鼓轮轴线夹角为
45°(见图1b)。
标引序号说明:a)b)
1——测微鼓轮;
2——单瞄准线;
3——十字瞄准线
4——分划板刻度。
图1
1
4.2基本参数
仪器的基本参数如表1所示。
表1
序号参数名称单位参数值
1物镜放大率-7×14×30×60×
2总放大率-60×120×260×510×
3物镜数值孔径-0.120.20.40.55
4物方视场mmΦ2.5Φ1.3Φ0.6Φ0.3
5物镜到被测表面的工作距离不小于mm9.52.50.20.04
6Rz的测量范围μm25~1006.3~251.6~6.30.8~1.6
7显微标尺测量范围mm0~1
8显微标尺分度值mm0.01
9显微标尺刻线宽度mm0.002
注:“—”表示不作规定。
4.3附件
仪器附件包括V形块、显微标尺、照相装置等,由制造商提供。
5技术要求
5.1主要技术指标
仪器的主要技术指标应符合表2中的规定。
表2
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