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221-30113
GC-2010
ServiceManual
Contents
Contents
Contents
Introduction
1Installation1
1.1InstallationSpace1
1.1.1Rearspace1
1.1.2Leftsidespace1
1.2EnvironmentalConditionsoftheInstallationSite2
1.2.1Roomtemperature/Humidity2
1.2.2Installationtable2
1.2.3Corrosivegasanddust2
1.2.4Influenceofelectromagneticwaveandpowersupplynoise2
1.2.5Otherprecautions2
1.3PowerSupply3
1.4Gas4
2ConfigurationoftheGC-20105
2.1ConfigurationDiagramforGC-2010Series5
2.2StructureofGC-201010
2.3ElectricCircuit17
2.3.1Blockdiagram17
2.3.2CPUUNITASSY18
2.3.3POWERUNITASSY23
2.3.4TCDCONTROLLER27
2.3.5FIDCONTROLLER30
2.3.6ECDCONTROLLER33
2.3.7FPDCONTROLLER36
2.3.8FTDPOWERCONTROLLER40
2.3.9PCBAUXTEMP43
3GasFlowController45
3.1ConfigurationDiagramofGasFlowController45
3.2FlowLineDiagramofGasFlowController49
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