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2024-06-17 发布于北京
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标题精准测量技术简介主要内容描述了MEMS微电子结构材料精密测量技术的特点和应用指出该技术包括光信号处理单元声音传输模块和温度传感器，适用于多种设备中进行测量同时，介绍了微机械陀螺作为测量机构的用途，其特点是成本低体积小批量生产摘要MEMS是微电子结构材料的一种，具有高精度和高的效率本文主要介绍MEMS精密测量技术，其中包括光信号处理单元声音传输模块和温度传感器同时，还讨论了微机械陀螺作为一种测量工具的应用，并阐述了其特点通过对比和说明，我们了解了这两种测

MEMS中的精密测量技术

MEMS的概念

光

信息处理单元

声

能量

传模数模执

温度感拟字拟行信息

信信信

号号号

化学器处处处器其它

理理理

其它器器器

感测量控制量

通讯/接口单元

光/电/磁

生活中的MEMS

MEMS的特征

尺寸从0.1微米到1厘米量级

跨度比较：MEMSNEMS

MEMS的尺度约为（80nm）到花生（2cm）

范围，其尺寸跨度与珠穆朗玛峰（8km）到花MicrotechnologyNanotechnology

生（2cm）相当。[1cm,0.1μm]100nm

kmmmmμmnm

人类蚂蚁细胞

珠穆朗玛峰1.7m3mm头发5μm原子

8km75μm0.1nm

摇摆质量微陀螺案例-研究背景

陀螺仪是一种感测体旋转的重要惯性元件，在航

天、、航海、以及许多民用领域中有着广泛和重

要的应用。微机械陀螺是中低精度陀螺仪的典型代表，具

有成本低、体积小、可批量制造等特点，在部分领域

和民用领域都有着广泛应用。随着信息化进程的

不断深入，常规制导化成为各国发展的趋势。

以精确打击为目的的制导已经成为的核

心，如机载、制导枪榴弹、制导弹、灵巧、

近程火箭弹、稳瞄平台等。上述制导的任务时间不长，

对陀螺仪的精度要求相对不高，但要求其成本低、体积重

量小等。发展精确制导

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