（高清版）B-T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求.pdfVIP

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

GB/T41073—2021/ISO19830:2015

表面化学分析电子能谱X射线

光电子能谱峰拟合报告的基本要求

Surfacechemicalanalysis—Electronspectroscopies—Minimumreporting

requirementsforpeakfittinginX-rayphotoelectronspectroscopy

(ISO19830:2015,IDT)

2021-12-31发布2022-07-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T41073—2021/ISO19830:2015

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4符号和缩略语2

5相关数据采集参数报告2

5.1概述2

5.2谱仪3

5.3仪器分辨3

5.4检测器3

5.5X射线源3

5.6元素标识4

5.7谱图能量范围4

5.8谱图能量步长4

5.9荷电补偿4

6单谱峰拟合参数报告4

6.1概述4

6.2本底范围4

6.3本底积分范围4

6.4本底类型4

6.5拟合本底应用5

6.6设置峰参数5

6.7峰面积和峰高度5

6.8峰面积比和峰高比5

6.9半高峰宽5

6.10峰形5

6.11峰不对称参数6

6.12峰拟合处理6

6.13残差谱6

7多重谱峰拟合6

7.1概述6

7.2多重谱数据集的峰拟合方法6

7.3约束传播6

7.4本底传播7

8卫星峰扣除7

I

GB/T41073—2021/ISO19830:2015

9双峰扣除8

10谱的去卷积8

11拟合质量与不确定度8

11.1概述8

11.2拟合质量8

11.3结合能的不确定度8

11.4峰面积的不确定度8

附录A(资料性)报告峰拟合示例9

附录B(资料性)多层数据集峰拟合报告12

附录C(资料性)报告峰拟合参数模板14

附录D(资料性)统计方法15

参考文献17

Ⅱ