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SU-8胶光刻工艺解读.docx

SU-8胶光刻工艺解读.docx

    UV-LIGA

    编制单位:编制人:编制日期:

    华中科技大学MEMS中心徐智谋何少伟2023.10工艺技术标准UV-LIGA工艺标准

    工艺路线及工艺流

    程 3

    工艺路

    线 3

    工艺流

    程 3

    SU-8胶光刻工艺 3

    Polydimethysiloxane(PDMS)浇铸成模 4

    PDMS外表金属化 4

    在PDMS样品上电铸微模具 4

    二试验平

    台 5

    三试验样

    品 6

    SU-8胶结

    构 7

    PDMS外表金属

    化 8

    工艺路线及工艺流程

    工艺路线

    微塑铸

    光刻

    工艺流程

    SU-8胶光刻工艺

    对衬底进展清洗，并在200℃烘30分钟以上以去除外表水分子

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