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声表面波陀螺仪研究进展

汇报人：

2024-01-16

引言

声表面波陀螺仪基本原理

声表面波陀螺仪结构设计及优化

声表面波陀螺仪制作工艺研究

声表面波陀螺仪性能测试与分析

声表面波陀螺仪应用领域拓展

总结与展望

引言

工作原理

声表面波陀螺仪通过发射和接收声表面波信号，检测声波在旋转坐标系中的多普勒频移，从而计算出物体的旋转角速度。

声表面波陀螺仪定义

声表面波陀螺仪是一种基于声表面波技术的角速度传感器，利用声表面波在旋转坐标系中的传播特性来测量物体的角速度。

随着微纳加工技术和声学理论的不断发展，声表面波陀螺仪作为一种新型角速度传感器，在航空航天、导航定位、机器人等领域具有广泛的应用前景。

声表面波陀螺仪具有高灵敏度、低功耗、抗干扰能力强等优点，对于提高导航精度、降低能耗、增强系统稳定性等方面具有重要意义。

研究背景

研究意义

国内研究现状

国内在声表面波陀螺仪的研究方面起步较晚，但近年来发展迅速。一些高校和科研机构在声表面波陀螺仪的理论研究、器件设计、加工工艺等方面取得了重要进展。

国外研究现状

国外在声表面波陀螺仪的研究方面起步较早，技术相对成熟。一些国际知名企业和科研机构在声表面波陀螺仪的商业化应用方面取得了显著成果。

发展趋势

随着微纳加工技术和声学理论的不断进步，声表面波陀螺仪将朝着更高灵敏度、更低功耗、更小体积的方向发展。同时，多轴集成、智能化、自校准等技术将成为未来声表面波陀螺仪的重要发展方向。

声表面波陀螺仪基本原理

01

声表面波（SAW）是一种沿固体表面传播的弹性波，其振幅随深度增加而迅速衰减。

02

SAW传播速度取决于材料的弹性常数和密度，且受温度、压力和表面状况的影响。

03

SAW具有高频、低损耗、易于集成等优点，在传感器、通信和微电子等领域有广泛应用。

01

陀螺仪是一种基于角动量守恒原理的惯性传感器，用于测量载体的角速度或角位移。

02

声表面波陀螺仪利用SAW传播特性，通过测量SAW在旋转坐标系中的传播时间差来感知角速度。

当载体绕敏感轴旋转时，SAW在传播路径上产生与旋转方向相反的科里奥利力，导致传播时间发生变化。

02

关键技术

01

高精度时间测量技术、高性能SAW器件设计技术、低噪声信号处理技术。

02

挑战

提高测量精度和稳定性、降低功耗和成本、实现小型化和集成化。

03

未来研究方向

新型材料应用、先进制造工艺探索、智能算法优化等。

声表面波陀螺仪结构设计及优化

压电基底结构

01

采用压电材料作为基底，利用压电效应实现声表面波的激发和传播。具有高灵敏度、快速响应等优点，但需要解决温度稳定性和抗干扰能力等问题。

叉指换能器结构

02

采用叉指电极作为换能器，通过施加交变电场激发声表面波。具有体积小、重量轻、易于集成等优点，但需要优化电极形状和尺寸以提高转换效率。

多层膜结构

03

在压电基底上沉积多层薄膜，形成复合结构以改善性能。通过调整各层材料的厚度和性质，可以实现高性能的声表面波陀螺仪，但需要解决工艺复杂性和成本等问题。

有限元分析法

利用有限元软件对声表面波陀螺仪进行建模和仿真分析，以优化结构设计和提高性能。可以预测不同结构参数对陀螺仪性能的影响，为实验提供指导。

拓扑优化法

通过拓扑优化算法对声表面波陀螺仪的结构进行自动优化，以寻找最优的材料分布和形状。可以提高设计效率，发现新的结构构型，但需要解决计算复杂性和收敛性问题。

多目标优化法

考虑声表面波陀螺仪的多个性能指标（如灵敏度、稳定性、抗干扰能力等），采用多目标优化算法进行综合优化。可以平衡不同性能指标之间的矛盾，实现整体性能的提升。

声表面波陀螺仪制作工艺研究

电极制作

在压电薄膜上制作叉指电极，形成声表面波谐振器。

薄膜制备

通过物理或化学方法在衬底上沉积压电薄膜。

封装与测试

将谐振器封装在真空或惰性气体环境中，并进行性能测试与校准。

01

材料性能检测

对压电材料、衬底材料和电极材料进行严格的质量检测，确保其性能符合要求。

02

加工精度控制

通过优化加工工艺参数和设备，提高加工精度和一致性。

03

可靠性测试

对制成的声表面波陀螺仪进行长时间、高低温等恶劣环境下的可靠性测试，评估其稳定性和可靠性。

声表面波陀螺仪性能测试与分析

静态测试

在无外界干扰的环境下，对陀螺仪进行长时间的静态测试，记录其输出数据，以评估其零偏稳定性和重复性。

动态测试

通过施加已知的角速度或角加速度，观察陀螺仪的输出响应，以验证其动态性能和灵敏度。

温度测试

在不同温度环境下对陀螺仪进行测试，以评估其温度稳定性和适应性。

振动测试

模拟实际工作环境中的振动条件，对陀螺仪进行振动测试，以检验其抗干扰能力和稳定性。

零偏稳定性

灵敏度

反映陀螺仪对角速度或角加速度的敏感程度，决定了其测量精度和分辨率。

动态范围

陀螺仪能够测量的最大角速