三电极冷等离子体射流放电特性及应用研究中期报告.docxVIP

三电极冷等离子体射流放电特性及应用研究中期报告

尊敬的评委、老师、同学们：

大家好！我今天来报告的是关于三电极冷等离子体射流放电特性及应用的中期报告。

首先，我想简单介绍一下我本次研究的背景和研究目标。我们知道，冷等离子体技术具有许多优点，如不产生热量和辐射，易控制等。在很多领域中都有广泛的应用，比如材料加工、环境治理和医疗卫生等。而三电极冷等离子体射流放电技术则是冷等离子体技术中的一种新型技术，可以产生稳定的极低温等离子体，适用于薄膜镀膜、表面改性等领域。因此，本次研究的目标是探究三电极冷等离子体射流放电的特性，探究其在薄膜镀膜和表面改性方面的应用。

接下来，我想着重介绍一下我目前的研究进展。首先，我们通过实验方法对三电极冷等离子体射流放电进行研究。实验中，我们主要测量等离子体的形态、电学特性和机理等参数。实验数据显示，三电极冷等离子体射流放电可产生轴向对称的圆锥形等离子体射流，电压约为200V，电流约为50mA，具有很高的稳定性和可重复性。此外，我们还研究了等离子体射流的成分，发现射流中主要含有氮分子和氧分子，且比例随实验条件不同而变化。

在此基础上，我们进一步探究了三电极冷等离子体射流放电在薄膜镀膜和表面改性方面的应用。我们制备了一批宽带隙半导体材料，并使用三电极冷等离子体射流放电技术进行表面改性。测试结果显示，经过表面处理后的样品比原样品表面更加均匀，表面粗糙度降低，同时具有更好的光电性能和电学特性。此外，我们还进行了薄膜镀膜实验，发现采用三电极冷等离子体射流放电技术进行镀膜，不仅能够获得更加均匀的薄膜，还可以得到更好的结晶性和硬度。

综上所述，我们目前的研究进展显示，三电极冷等离子体射流放电具有很高的稳定性和可重复性，且在薄膜镀膜和表面改性等方面具有广阔的应用前景。接下来，我们将进一步深入研究这一技术的机理，同时探究其更广泛的应用领域，希望能为冷等离子体技术的发展贡献自己的力量。谢谢！