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材料电子及中子分析技术第8章 电子背散射衍射ppt.pptxVIP

材料电子及中子分析技术第8章 电子背散射衍射ppt.pptx

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电子背散射衍射原理材料研究方法格莱特纳米科技研究所·尤泽升(朱和国)

非弹性散射;布拉格衍射条件

衍射锥-菊池线菊池带随晶体转动

-精确测量晶体取向菊池衍射原理(回顾)

课程内容一电子背散射衍射(EBSD)扫描电镜的透射菊池衍射EBSD仪器简介EBSD谱的标定二三四五EBSD分析结果

简述扫描电镜的背散射电子衍射与透射电镜的透射菊池衍射的区别?(1)相同点:都是非弹性散射电子沿某些晶面再次发生满足布拉格衍射定律的弹性散射的结果。(2)与透射电镜下的菊池衍射相比,扫描电镜的背散射衍射(EBSD)具有如下特点:a)EBSD捕获角域大得多,可超过70度,而透射电镜下约为20度;b)EBSD下的菊池带没有透射电镜下清晰,这是由传递函数不同所致;c)EBSD可以考到多组相交的菊池带;d)EBSD的菊池衍射方向与电子束入射方向的夹角极大,属高角菊池衍射。EBSD织构分析和传统X射线衍射分析的区别?(1)X射线衍射利用某一选择晶面的相对衍射强度表示该晶面在X射线照射范围内数千晶粒的平均取向分布,因此每次测量只能获得表示该晶面空间分布的极图。为了获得获得完整的三维取向信息,必须获得至少两个晶面的极图,再利用复杂的数值计算建立三维取向分布函数。(2)EBSD直接获得衍射源点单晶体的三维取向信息。为了获得具有统计意义的取向分布,需要将分析区域分成数万个点,并逐点测定晶体取向,然后统计出织构定量信息。(3)根据分析区域内晶粒数量的不同,X射线衍射获得的是宏观织构,而EBSD一般只能表征微观局域织构。如果样品织构相对均匀,EBSD所得织构信息与X射线衍射结果是很接近的。

一、电子背散射衍射(EBSD)为了缩短电子运动路径,让更多的背散射电子参与衍射而获得更强的衍射信号,需要将样品倾转至70°左右,不是透射电子!EBSD衍射谱角域比透射电镜菊池谱宽得多,因此可看到多组相交的菊池带。每条菊池带的中心线对应着一个反射晶面。菊池带相交点称为区轴(ZoneAxis)。相交于同一区轴的菊池带所对应晶面亦属于同一晶带,区轴实际上对应于该晶带的晶带轴。

二、扫描电镜的透射菊池衍射传统的EBSD分辨率受限于电子束与样品较大的交互作用体积利用电子透明的透射电镜样品和传统的EBSD硬件和软件表征平均晶粒尺寸100nm的纳米结构材料

三、EBSD仪器简介EBSD系统由三部分组成:扫描电镜、图像采集设备以及软件系统

三、EBSD仪器简介牛津仪器的HKLMaxEBSD探头位于扫描电镜样品室外的部分EBSD探头深入样品室后,扫描电镜的物镜、倾转样品和EBSD探头三者的几何位置

四、EBSD谱的标定识别菊池带确定晶面和带轴确定晶体取向

晶体取向:指单晶体的坐标系3个晶轴[100]-[010]-[001]在样品坐标系RD-TD-ND或X-Y-Z的相对方位。CCS:crystalcoordinatesystemforcrystal晶体坐标系(微观)SCS:samplecoordinatesystemforcrystal样品坐标系(宏观)RD(X)TD(Y)ND(Z)RD(X)TD(Y)ND(Z)[100][010][001]样品坐标系宏观坐标系晶体坐标系微观坐标系Rolling

取向即为两坐标系之间的夹角关系α1、β1、γ1为[100]轴与RD、TD、ND的夹角α2、β2、γ2为[010]轴与RD、TD、ND的夹角α3、β3、γ3为[001]轴与RD、TD、ND的夹角α1、α2、α3分别为样品坐标轴RD与晶体坐标轴[100]-[010]-[001]的夹角β1、β2、β3分别为样品坐标轴TD与晶体坐标轴[100]-[010]-[001]的夹角γ1、γ2、γ3分别为样品坐标轴ND与晶体坐标轴[100]-[010]-[001]的夹角方向余弦矩阵,即为两坐标系之间的变换矩阵,也是取向矩阵:[010][100][001]RD(X)TD(Y)ND(Z)样品坐标系(宏观坐标系)晶体坐标系(微观坐标系)取向的表达方法:一、数学法1)矩阵法余弦定律:

三个行矢量分别表示晶体坐标轴在样品坐标轴上的投影三个列矢量分别表示样品坐标轴在晶体坐标轴上的投影三个独立参数即可完整表达晶体取向2)欧拉角(φ1、Φ、φ2)表示法欧拉角:三次转动后与轴系[100]-[001]-[010]重合φ1-晶体的也是轧面法向ND转动φ1角度(3种)Φ-以转动后的RD为轴转动Φ角度(2种)φ2-以转动后的ND为轴转动φ2角度(2种)取值范围均可为0~2π,RD(X)TD(Y)ND(Z)RD(X)TD(Y)ND(Z)[010][100][001]TDRDND[100][

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