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直拉单晶工艺常识

硅的固态密度：克/cm,液态密度克/cm,呈灰色金属光泽，性质较脆，

切割时易断裂，比重较小，硬度较大，属于非金属，是极为重要的半导体

元素，液态时其表面张力较大，从液态到固态时体积膨胀较多。

氧在硅晶体中的分布是不均匀的，一般头部含量高，尾部含量低，晶

体中心部位含量高，边缘含量低。

碳在晶体中的分布是中心部位低，边缘部位高。

电阻率：单位面积材料对于两平行平面垂直通过电流的阻力，

晶向：一簇晶列的取向。

母合金：生产上常常将掺杂纯元素“稀释”成硅熔体叫做母合金。

偏度：晶体自然中轴线与晶向之间的夹角度数。

空穴：半导体价带结构中一种流动的空位，其作用就像一具具有正效

质量的正电子荷一样。

迁移率：载流子在单位电场强度作用下的平均漂移速度。

载流子：固体中一种能传输电荷的载体，又称电载流。

少数载流子寿命：在光电作用下，非平衡少数载流子由产生到复合存

在的平均时间。

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直拉单晶工艺常识--第2页

杂质分凝：在结晶过程中，由于杂质偏析，出现杂质分配现象叫杂质分

凝。

扩散：物质内部热运动导致原子或分子迁移的过程。

热对流：液体或气体流过固体表面时，由于固体对液体或气体分子有吸

附与摩擦作用，于是从固态表面带发挥或给于固体以热，这种传递热的方

式叫热对流。

热应力：是压缩力，也可以叫拉伸力，要看液体中心部位对边缘部分的

相对收缩或膨胀而定，大小取决于晶体的温场分布。

温度梯度：只温度在某方向的变化率用DT/DR表示，指某点的温度T

在R方向的变化率，在一定距离内某方向的温度相差越大，单位距离内温

度变化越大，温度梯度也越大，反之越小。

对石英坩埚的质量要求：1.外观检查：无损伤，无裂纹，无明显划

痕，无气泡，无杂质点，100%透明；2.耐高温：在1600°C下经16小时

后不变形,不失透，经1500C硅液作用下无白点；3.纯度：%%，其中硼含

量小于10ppm；4.直径公差土；5.高度公差土1mm。

对高纯石墨的要求：纯度高，强度大，结构致密均匀，无孔洞，无

裂纹，耐磨。

装料结束加热前应检查的项目：水路是否畅通，电气是否正常，机

械震动是否正常，取光口是否对好。

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跳硅的含义及如何避免跳硅

跳硅是指熔硅过程中熔硅在坩埚中沸腾并出现飞溅出来的现象；避免

跳硅1.仔细挑选石英坩埚和多晶硅；2.熔硅时温度不能过高；3.流动气氛

下熔硅；4.挂边和搭桥时要及时降温；5.增大氩气，降低温度，提高埚

位。

拉晶过程中，埚转不稳什么原因相应的解决方法

答：1.坩埚轴卡滞现象（清除波纹管杂质）；2.楔形带松动（调整楔

形带张力）；3.测速电机有问题（检查测速电机刷头或更换测速电机）；

4.坩埚轴定位轴工作不良（清洁润滑轴或更换轴承）；5.给定电位器接触

不良（更换电位器）。

过流产生的原因及排除方法

答：1.加热器打火；2.氩气不纯；3.加热电极与炉内绝缘差；4.高温

挥发杂质过多；解决方法：清理所有石墨件，连接件；低温大氩气长时间

煅烧；更换绝缘体，提高绝缘度，改变氩气纯度；电极对地电阻10欧。

籽晶升降不稳有抖动现象什么原因解决方法

答：1.卷丝轮与牵引套链接松动；2.钢丝绳有毛刺或折痕；3.减速机

润滑不良；4.电刷器接触不良。方法：加固卷丝轮与牵引套、更换钢丝

绳、清洁润滑、清理调整电刷环。

硅电阻受那几个方面的影响

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