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维普资讯
基于自适应控制的硅微振动陀螺仪驱动电路研究・７３・
基于自适应控制的硅微振动陀螺仪驱动电路研究
王存超，王寿荣，夏敦柱
（东南大学仪器科学与工程系，江苏南京２１００９６）
摘要：硅微振动陀螺仪驱动模态的稳定性对其性能及可靠性有着重要作用。自激驱动能够使单个驱动模态稳定谐振在固
有频率上，但对于双驱动模态，由于微机械加工误差的影响，固有频率存在偏差，很难实现频率匹配。研究了基于自适应控
制的硅微振动陀螺仪的驱动电路设计，通过固定频率信号驱动和自适应调谐实现双驱动模态的一致性。理论仿真和实验
结果表明该设计切实可行。
关键词：自适应控制；硅微振动陀螺仪；驱动；调谐
中图分类号：ＴＰ２０２，７文献标识码：Ａ文章编号：１０００—８８２９（２００７）０７—００７３—０３
ＳｔｕｄｙｏｆＤｒｉｖｅＣｉｒｃｕｉｔｒｙｏｆｔｈｅＳｉｌｉｃｏｎＭｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄＶｉｂｒａｔｏｒｙ
ＧｙｒｏｓｃｏｐｅＢａｓｅｄｏｎＡｄａｐｔｉｖｅＣｏｎｔｒｏｌ
ＷＡＮＧＣｕｎ—ｃｈａｏ，ＷＡＮＧＳｈｏｕ—ｒｏｎｇ，ＸＩＡＤｕｎ—ｚｈｕ
（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｄｒｉｖｉｎｇｓｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｖｉｂｒａｔｏｒｙｇｙｒｏｓｃｏｐｅｉｓｏｆｃｒｉｔｉｃａｌｉｍｐｏｒｔａｎｃｅｉｎｉｔｓｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅａｎｄｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ．Ｓｅｌｆ－
ｅｘｃｉｔｅｄｄｒｉｖｉｎｇｃａｎｅｎａｂｌｅｓｉｎｇｌｅｍｏｄｅｔｏｏｓｃｉｌｌａｔｅｓｔａｂｌｙ，ｗｈｉｌｅｎｏｔｂｅｂａｌｅｔｏｋｅｅｐｔｗｏｖｉｂｒａｔｏｒｙｍｏｄｅｓｉｄｅｎｔｉｃａｌｌｙｄｕｅｔｏｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓ
ｏｆｉｍｐｒｅｃｉｓｅｆｂａｒｉｃａｔｉｏｎ，Ｔｈｅｄｒｉｖｅｃｉｒｃｕｉｔｙｒｏｆｔｈｅｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｍｍａｃｈｉｎｅｄｇｙｒｏｓｃｏｐｅｂａｓｅｄｏｎａｄａｐｔｉｖｅｃｏｎｔｒｏｌｉｓｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．ＴｈｅＣＯ—
ｈｅｒｅｎｃｅｏｆｔｗｏｖｉｂｒａｔｏｒｙｍｏｄｅｓｉｓａｃｈｉｅｖｅｄｕｔｉｌｉｚｉｎｇａｄａｐｔｉｖｅｔｕｎｉｎｇａｔａｇｉｖｅｎｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，Ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｒｅ—
ｓｕｌｔｓｐｒｏｖｅｉｔｆｅａｓｉｂｌｅ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ａｄａｐｔｉｖｅｃｏｎｔｒｏｌ；ｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｖｉｂｒａｔｏｒｙｙｇｒｏｓｃｏｐｅ；ｄｒｉｖｅ；ｔｕｎｉｎｇ
硅微振动陀螺仪是以微机电系统（ＭＥＭＳ）技术为基础，用硅微梳齿电容驱动器的工作原理如图１所示。固定驱动梳
来测量转动角速度的微型传感器，因其体积小、价格低、适于批齿对称地分布在质量块的两端，为直流工作电压，为交流
量生产等特点，越来越受到人们的重视，成为目前研究的重点。工作电压，Ｙ０为梳齿间距，为梳齿的厚度。通过在固定驱动
硅微振动陀螺仪通过振动质量块敏感哥氏力来测量转动角梳齿端施加直流电压叠加交流电压实现推挽驱动，由此产生的
速度，包括驱动和敏感两个模态。驱动模态的稳定性和一致性
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