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摘要
摘要
微纳悬臂梁式传感器以高灵敏度、便携、低成本和快速测量等特点成为了
近年来国内外的研究热点，广泛应用于工业生产、卫生医疗以及石油化工等领
域。然而当工作介质为粘性流体时，振动系统各类型能量耗散中，由于粘性流
体导致的黏性阻尼能量耗散占比大幅度增加，表现为传感器精确度的急剧下降，
甚至是失效。探索底层的能量耗散抑制机理成为了提升传感器性能的重要途径。
相比于弯曲振动，面内振动中的剪切模态具有更少的附加质量和黏
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