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激光干涉仪的测距原理

现代机床精密准确，但是由于标尺误差和几何误差，还是会产生较小的定位误差。为了使生产车间达到规定的质量和生产率，就需要对机床进行快速、动态的校准，以求得最好的性能。激光干涉仪是当代国际机床标准中规定使用的数控机床精度检测验收的测量设备之一。

与普通光相比，激光具有以下特点：

高度相干性

相干波是指两个具有相同方向、相同频率和相同相位差的波。普通光源是自发辐射光，是非相干光。激光是受激辐射光，具有高度的相干性。

方向性好

普通光向四面八方发光，而激光散射角很小，几乎与激光器的反射镜面垂直。如配置适当的光学准直系统，其发散角可小到10-4rad以下，几乎是一束理想平行光。

高度单色性

普通光源包括许多波长，所以具有多种颜色，如日光包含红、橙、黄、绿、青、蓝、紫七种颜色，其相应的波长从760～380nm。激光的单色性高，如氦氖激光的谱线宽度只有10-6nm。

高亮度

激光束极窄，所以有效功率和照度特别高，比太阳表面高200亿倍以上。

根据光的干涉原理，两列具有固定相位差、相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象。如图1所示，由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和投射光束S2，两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。

图1.激光干涉仪测距原理

若两列光S1和S2的路程差为Nλ（λ为波长，N为零或正整数），实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大，如图2-a所示。当S1和S2的路程差为λ/2（或波长的奇数倍）时，合成光的振幅和为零，此时光强最小，如图2-b所示。

图2.激光干涉仪法测距波形图

a）两列光路程差为Nλb）两列光路程差为为λ/2

激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接受并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确。所以，利用干涉法测距的分辨率至少应为λ/2，利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹。可见，用激光干涉法测距的精度极高。

激光干涉仪是由激光镜、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成。目前，应用较多的有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。