Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究 .pdf

CHENShu－ling，YANGBo，WANGShou－rong＊

（SchoolofInstrumentationScienceandEngineering，SoutheastUniversity，Nanjing２１００９６，China）

Abstract：Siliconmicromachinedgyroscopeisakindofangular－rate－sensordevelopedinrecentyears，whichhas

smallersize，lighterweightandlowercostthantraditionalrate－sensors．Temperaturevariationisoneofthemain

errorsforSMG．ThethermalcharacteristicofSMGwasanalyzed，twogyroscopesofdifferentQ－valuewerechosen

andtestedwhilethetemperaturerangedfrom－４０℃to８０℃．TheinfluenceonthefeaturesofSMGowningto

temperaturechangeisconstrued．Theexperimentresultshowsthattheresonantfrequencyofthegyroscopede－

creaseslinearlyalongwiththetemperatureincrement；thevacuumdegreeofthehermeticgyroscopeimposesdis－

tinctinfluenceonthemechanicalfactorofthegyroscopewhentemperaturevaries．

Keywords：siliconmicromachinedgyroscope（SMG）；thermalcharacteristic

EEACC：７６３０

Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究＊

陈淑铃，杨波，王寿荣＊

（东南大学仪器科学与工程学院，南京２１００９６）

摘要：

硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器，温度变化是其主要误差源之一。分析了温度变化对硅微陀

螺仪的谐振频率和品质因数的影响，并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在－４０℃～８０℃温度范围内进行测试，得出

机械品质因数和谐振频率随温度变化规律。实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降；温度变化时，封装陀螺

仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响。

关键词：

微机械陀螺仪；温度特性

中图分类号：V２４１．５９文献标识码：A文章编号

微机械陀螺仪由单晶硅片采用光刻和各向异性统刚度的变化，改变陀螺的谐振频率，产生漂移。陀

刻蚀工艺制造而成，属于硅的微机械加工与陀螺仪螺外围电路中电子器件的温度漂移也会影响到输出

理论相结合的产物。具有体积小、质量轻、可靠性信号的精度。这些因素主要影响到陀螺的零位输出

高、抗冲击、适于大批量生产等特点，在军事，汽车，和标度因数［３］，进而影响了陀螺仪输出特性的精度

消费电子，机器人，医学等许多领域都有广泛的应以及稳定性。

［１－２］

用。陀螺的性能受到各种因素的影响，其中环境硅微机械陀螺仪以硅为材料，可以利用成熟的

温度的变化对微机械陀螺仪性能有较大影响。微机半导体加工工艺制作，易于实现微机械与微电子线

械陀螺仪工作主要受其谐振频率影响，而陀螺仪材路的一体化。但硅材料特性受温度影响较大，当温

料的弹性模量以及陀螺外围电路中电子器件的性能度变化时，机械结构、拉伸强度、残余内应力、破坏韧

都会随温度变