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MEMS陀螺误差模型标定实验与分析

李勋;张欣;孙朔冬;鲍其莲

【摘要】Inthispaper,twosimplifiedlinearandnonlinearmodelswere

establishedforMEMSgyroscopesstaticerrorsaswellasarandommodel

forrandomerrorsexitingingyroscopes.Parametersofstaticmodelswere

estimatedbyleastsquaremethod.Theparametersofrandomerror

modelsweregivenbyAllanvarianceanalysis.Theexperimentresultsof

twoMEMSgyroscopesshowedthatthecharacteristicparametersare

determinedbygivenmethods.%陀螺仪的误差模型与标定对于陀螺仪误差补偿

非常关键.本论文针对陀螺仪的误差,分别建立了静态一阶与二阶简化模型以及随机

误差模型,通过采用最小二乘法与Allan方差分析法进行了参数标定.最后,通过

MEMS陀螺的实验结果获得了陀螺的特性参数,验证了模型及标定方法的有效性.

【期刊名称】《电子设计工程》

【年(卷),期】2017(025)017

【总页数】4页(P164-167)

【关键词】陀螺仪;误差模型;最小二乘法;Allan方差

【作者】李勋;张欣;孙朔冬;鲍其莲

【作者单位】深圳供电局有限公司广东深圳518048;深圳供电局有限公司广东

深圳518048;上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240;上海交通大学

电子信息与电气工程学院,上海200240

【正文语种】中文

【中图分类】TN967.2

微惯性器件是MEMS发展的重点，如硅微加速度计、硅微陀螺仪和硅微惯性测量

组合等，硅微惯性器件相较于传统陀螺，具有轻便易于安装、使用寿命长、可靠性

高、耐冲击、易于批量生产等特点，在汽车、无人机、等导航系统中具有广泛应用。

由于目前微惯性器件的精度相对较低，因此其标定、误差建模与补偿研究对于提高

其精度至关重要。

陀螺是敏感壳体相对惯性空间做角运动的装置，陀螺仪即是能自主地测量物体角速

度或角位移的器件。陀螺仪类型不同，其工作原理也不同，因而产生误差的机理也

不同，标志陀螺仪性能的参数和陀螺仪的误差模型也各不相同。

陀螺的漂移误差通常可分为两类：有规律漂移和随机漂移。有规律漂移是指陀螺仪

产生的大小与方向保持不变或遵循一定规律变化的漂移，可以通过试验和分析的方

法得到漂移的数值大小或变化规律。而随机漂移是指陀螺在运行中所产生的大小与

方向没有规律可循的漂移，一般是由环境噪声、温度变化等引起的随机干扰力矩而

产生的。陀螺漂移误差表示了陀螺的测量精度，对于确定陀螺的特性非常关键。文

中针对MEMS陀螺仪的漂移误差标定方法进行讨论，并对标定实验结果进行了分

析。

不考虑随机误差情况下，陀螺仪输出一般表达式为：

式中ωd——陀螺仪的漂移速率误差，°/h；

Kd——常值漂移，°/h；

Kx，Ky，Kz——与比力成正比的漂移系数，°/（h·g2）；

Kxy，Kyz，Kzx——与比力交叉项乘积成正比的漂移系数，°/（h·g2）；

Kxx，Kyy，Kzz——与比力平方成正比的漂移系数，°/（h·g2）；

ax，ay，az——分别为沿陀螺仪相应轴的加速度，g。

上述模型可以简化为线性模型与二次非线性模型:

陀螺仪输入、输出的线性模型如下:

式中K——刻度因数；

F0——拟合零位；

vi——拟合误差。

如果近似为二次非线性误差模型：

标定的目的就是确定上述简化误差模型的各项系数。

针对陀螺仪非随机误差的标定，采用速率转台进行测试标定。其原理如下：

将MEMS陀螺安装在双轴速率台上，转台绕外环轴以常值角速率Ω分别顺时针和

逆时针转动分别记录顺时针和逆时针转动时陀螺仪的输出，转台角速率Ω可选择

不同数值进行多次试验。利用上述速率标定试验得到的数据，通过最小二乘法可计

算得出线性拟合与二次拟合各参数的最优估计值。

当输入角速率ωi（°/s）时陀螺输出的平均值Fi为

式中N——采样次数；

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