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应用物理学杂志卷90第7期2001年10月1日
在微型比例平版印刷机中运用物理原理控制图样的精确度
AntonA.DarhuberandSandraM.Troiana
微流体动力学研究室，化学工程部，普林斯顿大学，普林斯顿，新泽西08544
西哥德.瓦格纳
化学工程部，普林斯顿大学，普林斯顿，新泽西08544
（2001年3月7日收到，2001年6月4日出版）
我们已经研究了胶印中液态聚合物暴露于紫外线光并固化到平面未成形的硅和玻
璃基板中。相互作
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