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半导体洁净车间温湿度控制方案

半导体洁净车间温湿度控制方案

一、方案概述

本方案旨在为半导体洁净车间提供一套科学的温湿度控制方案，以确保车间环境符合半导体生产的要求。方案包括对车间环境参数的监测、调节与维护，以及相应的设备选型与系统设计。

二、温湿度控制目标

1.温度控制范围：18℃～25℃；

2.湿度控制范围：40%～60%；

3.温湿度波动范围：±1℃、±5%。

三、系统设计

（一）环境监测系统

1.温度监测：采用铂电阻或热电偶传感器，对车间内各区域的温度进行实时监测。

2.湿度监测：采用湿度传感器，对车间内各区域的湿度进行实时监测。

3.数据采集与处理：将监测到的温湿度数据传输至中央控制单元，并进行处理与存储。

（二）调节系统

1.温度调节：采用空气调节器（空调），通过调节送风量和温度，实现对车间内温度的控制。

2.湿度调节：采用加湿器或除湿器，通过调节湿度，实现对车间内湿度的控制。

（三）维护系统

1.设备维护：定期对空调、加湿器、除湿器等设备进行检查与保养，确保设备正常运行。

2.系统维护：定期检查监测系统和调节系统，确保系统数据准确，调节功能正常。

四、设备选型

（一）温度监测设备

1.传感器：铂电阻或热电偶传感器，分辨率达到±0.1℃，响应时间≤5秒。

2.数据采集器：具备RS485通讯接口，可同时接入多个温度传感器，实现多点温度监测。

（二）湿度监测设备

1.传感器：电容式湿度传感器，分辨率达到±1%，响应时间≤5秒。

2.数据采集器：具备RS485通讯接口，可同时接入多个湿度传感器，实现多点湿度监测。

（三）温度调节设备

1.空气调节器：单台最大制冷量≥200kW，适用于大面积车间。

2.送风机：单台最大风量≥20000m3/h，适用于大面积车间。

（四）湿度调节设备

1.加湿器：单台最大加湿量≥200kg/h，适用于大面积车间。

2.除湿器：单台最大除湿量≥200kg/h，适用于大面积车间。

五、实施步骤

1.现场调研：了解车间环境、生产需求，确定温湿度控制方案。

2.设备选型：根据方案要求，选择合适的监测、调节设备。

3.系统安装：将监测、调节设备安装于车间内，并连接通讯线路。

4.系统调试：对系统进行调试，确保监测、调节功能正常。

5.系统运行：定期对系统进行维护，确保车间环境稳定。

六、效益分析

1.提高产品质量：稳定的温湿度环境有助于提高半导体产品的良率。

2.降低能耗：合理的温湿度控制方案可降低空调、加湿器等设备的能耗。

3.保障生产安全：稳定的温湿度环境有助于保障生产人员的安全与健康。

通过以上方案的实施，半导体洁净车间温湿度控制将得到有效保障，为我国半导体产业的发展提供有力支持。