GEM）系列：E40_（8）.GEM系列E40系统架构设计.docx

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系统架构设计

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）的设计中，系统架构的合理性和高效性直接影响整个系统的性能和稳定性。本节将详细介绍SECS/GEM系统架构设计的关键要素，包括模块划分、通信协议、数据管理、故障处理和安全机制。

模块划分

1.控制模块

控制模块是SECS/GEM系统的核心部分，负责设备的实时控制和状态监控。它通常包括以下几个子模块：

实时控制子模块：负责设备的实时操作，如电机控制、温度调节等。

状态监控子模块：负责设备状态的监控和数据采集，如温度、压力、电流等。

故障检测子模块：负责检测设备运行中的各种故障，并进行初步处理。

代码