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核心技术解析
1.SECS/GEM概述
SECS/GEM（SemiconductorEquipmentCommunicationsStandard/EquipmentControlandMonitoring）是半导体制造设备与制造执行系统（MES）之间通信的标准。SECS/GEM旨在实现设备与系统的无缝连接，提高生产效率和设备利用率。SECS/GEM标准定义了设备与主机之间的通信协议，包括消息格式、消息处理和设备状态管理等。
1.1SECS/GEM的历史与发展
SECS/GEM标准最早由SEMI（SemiconductorE
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