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GEM系列E40核心概念
引言
在半导体制造设备控制系统中，GEM（GenericEquipmentModel）标准是一套用于设备和主机之间通信的规范。GEM标准由SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）制定，旨在提高设备的互操作性和标准化程度。GEME40是GEM系列中的一个重要标准，它定义了设备和主机之间通信的详细协议和流程。
本节将详细介绍GEME40的核心概念，包括设备模型、数据结构、通信协议和消息类型。通过本节的学习，您将能够理解GEME40的基本原理和应用场景
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