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8.控制策略设计与实现
8.1控制策略概述
在半导体工业控制系统中,控制策略的设计与实现是确保生产过程稳定、高效和安全的关键环节。控制策略可以分为基本控制策略和高级控制策略。基本控制策略包括PID控制、开关控制等,而高级控制策略则包括模型预测控制(MPC)、自适应控制等。本节将详细介绍YokogawaCENTUMVP系统中如何设计和实现这些控制策略。
8.2基本控制策略
8.2.1PID控制
PID(比例-积分-微分)控制是工业控制中最常用的控制策略之一。它通过比例、积分和微分三个部分来调整控制量,以达到对被控对象的精确控制。
8.2.1.1
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