静电防护措施方案 .pdfVIP

TFTProject靜電防護措施方案

一、人員防護

1.防靜電工作服(anti-staticclothes)

2.防靜電帽(anti-staticcap)

3.防靜電鞋(anti-staticshoes)

4.防靜電手套(anti-staticgloves)

5.防靜電指套(anti-staticfingercots)

6.防靜電口罩(anti-staticmask)

7.防靜電手腕帶(anti-staticwriststraps)

8.上線前須先經過防靜電手腕帶測試儀(anti-staticwrist)測試表面電阻是

否合格

二、機台(切割機、裂片機)防護

1.台面裝置接地線

2.於機台適當位置裝置除靜電裝置，消除工作時所產生之靜電

三、操作環境防護

1.工作桌台面放置防靜電台墊(anti-staticmat)，並與接地線(groundlead)

連接以導走靜電

2.作業員操作區域地面放置導電性橡膠地墊(conductiverubberfloormat)

並與接地線(groundlead)連接以導走靜電

四、運送防護

1.各工位使用導電Tray盤(conductivetray)盛放玻璃

2.使用防靜電周轉箱(anti-staticcirculationbox)進行各工位間搬運

五、包裝防護

1.使用Tray盤(conductivetray)盛放玻璃

2.使用防靜電膠帶(anti-statictape)固定Tray盤

3.以防靜電塑膠袋(anti-staticplasticbag)包裝Tray盤

六、其他防護

1.要求作業員取放玻璃時要輕拿、輕放，動作放慢。

本文介绍，为了有效地抗击和防止静电放电(ESD,electrostaticdischarge)，必须以正确的方式使用

正确的设备。由于一系列强有力的闭环ESD预防、监测与离子设备，现在可以把ESD看作一个

过程控制问题。

静电放电(ESD)是在电子装配中电路板与元件损害的一个熟悉而低估的根源。它影响每一个

制造商，无任其大小。虽然许多人认为他们是在ESD安全的环境中生产产品，但事实上，ESD

有关的损害继续给世界的电子制造工业带来每年数十亿美元的代价。

ESD究竟是什么？静电放电(ESD)定义为，给或者从原先已经有静电(固定的)的电荷(电子不

足或过剩)放电(电子流)。电荷在两种条件下是稳定的：

1.当它陷入导电性的但是电气绝缘的物体上，如，有塑料柄的金属的螺丝起子。2.当它居留

在绝缘表面(如塑料)，不能在上面流动时。

可是，如果带有足够高电荷的电气绝缘的导体(螺丝起子)靠近有相反电势的集成电路(IC)

时，电荷跨接，引起静电放电(ESD)。

ESD以极高的强度很迅速地发生，通常将产生足够的热量熔化半导体芯片的内部电路，在

电子显微镜下外表象向外吹出的小子弹孔，引起即时的和不可逆转的损坏。更加严重的是，这种

危害只有十分之一的情况坏到引起在最后测试的整个元件失效。其它90%的情况，ESD损坏只

引起部分的降级-意味着损坏的元件可毫无察觉地通过最后测试，而只在发货到顾客之后出现

过早的现场失效。其结果是最损声誉的，对一个制造商纠正任何制造缺陷最付代价的地方。

可是，控制ESD的主要困难是，它是不可见的，但又能达到损坏电子元件的地步。产生可

以听见嘀哒一声的放电需要累积大约2000伏的相当较大的电荷，而3000伏可以感觉小的电

击，5000伏可以看见火花。

例如，诸如互补金属氧化物半导体(CMOS,complementarymetaloxidesemiconductor)或电气

可编程只读内存(EPROM,electricallprogrammableread-onlymemory)这些常见元件，可分别被只

有250伏和100伏的ESD电势差所破坏，而越来越多的敏感的现代元件，包括奔腾处理器，只

要5伏就可毁掉。

该问题被每天的引起损害的活动复合在一起。例如，从乙烯基的工厂地板走过，在地板表

面和鞋子之间产生摩擦。其结果是纯电荷的物体，