电子级四（二甲氨基）钛.pdf

ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX-XXXX

电子级四（二甲氨基）钛

Electronicgradetetrakis（dimethylamide）titanium

（征求意见稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/TXXXXX—XXXX

电子级四（二甲氨基）钛

1范围

本文件规定了半导体行业用电子级四（二甲氨基）钛的技术要求，描述了试验方法、分析方法与测

定结果评价，规定了检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求。

本文件适用于作为前驱体材料用于IC制程中制备TiN、TiO、TiC和钛掺杂等钛基薄膜的电子级四（二2

甲氨基）钛，用作阻挡层或介电层等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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GB12463危险货物运输包装通用技术条件

GB15603危险化学品仓库储存通则

TSG23气体安全技术规程

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

电子级四（二甲氨基）钛应符合表1的规定。

1

GB/TXXXXX—XXXX

表1集成电路用电子级四（二甲氨基）钛技术指标要求

项目技术指标

四（二甲氨基）钛纯度（Ti(NCH)）/10-2≥99.5

264

铝（Al）含量/（ng/g）≤1

锑（Sb）含量/（ng/g）≤1

砷（As）含量/（ng/g）≤1

钡（Ba）含量/（ng/g）≤1

铍（Be）含量/（ng/g）≤1

铋（Bi）含量/（ng/g）≤1