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划痕宽度测量示值误差测量结果不确定度评定示例
B.1测量方法
将宽度标准器插入端面仪测量孔,调整仪器微调对准机构,使直线图样在视场窗口居中并聚焦清晰,重复测量直线线宽3次取平均值与标准值之差为测量结果。本次评定以分辨力为0.1μm的端面仪为例。
B.2测量模型
?S=S-S0
式中:
?SQUOTEH—端面仪划痕宽度示值误差,μm;
QUOTEH0S—直线线宽测量值的平均值,μm;
QUOTES0—直线线宽标准值,μm。
B.3测量不确定度分析
依据测量模型,输入量S和S0之间是相互独立的,互不相关,所以合成标准不确定度
u
式中:
c
故
uc?S=u2
B.4标准不确定度分量评定
B.4.1端面仪测量引入的不确定度分量uSQUOTEu1
B.4.1.1端面仪测量重复性引入的不确定度分量uS1QUOTEu11
连续10次重复测量划痕宽度,得到的测量结果见表B.1,计算单次实验标准偏差为
s
表B.1
测量次数
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
测量结果/μm
4.4
4.4
4.6
4.6
4.8
4.8
4.6
4.4
4.4
4.4
sS=0.2
实际测量时,取3次读数的平均值作为测量结果,则
u
B.4.1.2端面仪测量分辨力引入的不确定度分量uS2QUOTEu12
端面仪的测量分辨力为0.1μm,其量化误差引起的标准不确定度分量服从均匀分布,则
u
由于仪器测量重复性引入的测量不确定度分量大于分辨力引入的不确定度分量,因此以测量重复性分量为分析结果。
uS=uS
B.4.2宽度标准器引入的不确定度分量u
宽度标准器线宽的测量不确定度U=0.2μm,k=2,由此引入的不确定度为:
u
B.5合成标准不确定度
合成标准不确定度按照公式(B.2)计算:QUOTEuc=u1
uc?S
B.6扩展不确定度
取包含因子k=2,则扩展不确定度为:
U=kuc=2×
缺陷直径测量示值误差测量结果不确定度评定示例
C.1测量方法
将直径标准器插入端面仪测量孔,调整仪器微调对准机构,使空心圆图样在视场窗口居中并聚焦清晰,重复测量空心圆直径3次取平均值与标准值之差为测量结果。本次评定以分辨力为0.1μm的端面仪为例。
C.2测量模型
?D=D-D0
式中:
?DQUOTEH—端面仪缺陷直径示值误差,μm;
D—空心圆直径测量值的平均值,μm;
QUOTED0—空心圆直径标准值,μm。
C.3测量不确定度分析
依据测量模型,输入量D和D0
u
式中:
c
故
uc?D=u2
C.4标准不确定度分量评定
C.4.1端面仪测量引入的不确定度分量uDQUOTEu1
C.4.1.1端面仪测量重复性引入的不确定度分量uD1QUOTEu11
连续10次重复测量划痕宽度,得到的测量结果见表C.1,计算单次实验标准偏差为
s
表C.1
测量次数
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
测量结果/μm
25.4
25.4
25.6
25.8
25.8
25.4
25.4
25.6
25.6
25.6
sD=0.2
实际测量时,取3次读数的平均值作为测量结果,则
u
C.4.1.2端面仪测量分辨力引入的不确定度分量uD2QUOTEu12
端面仪的测量分辨力为0.1μm,其量化误差引起的标准不确定度分量服从均匀分布,则
u
由于仪器测量重复性引入的测量不确定度分量大于分辨力引入的不确定度分量,因此以测量重复性分量为分析结果。
uD=uD1
C.4.2直径标准器引入的不确定度分量u
直径标准器线宽的测量不确定度U=0.2μm,k=2,由此引入的不确定度为:
u
C.5合成标准不确定度
合成标准不确定度按照公式(C.2)计算:QUOTEuc=u1
uc?D
C.6扩展不确定度
取包含因子k=2,则扩展不确定度为:
U=kuc=2×
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