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MEMS的主要材料及其性能参数

二、主要内容（分项列出）

1.小MEMS的主要材料

硅

氮化硅

聚合物

其他材料

2.编号或项目符号

硅（Silicon）

纯度

晶体结构

机械性能

电学性能

氮化硅（SiliconNitride）

硬度和耐磨性

热稳定性和耐腐蚀性

电学性能

聚合物（Polymers）

机械性能

热稳定性

电学性能

生物相容性

其他材料

金（Gold）

铝（Aluminum）

镍（Nickel）

钴（Cobalt）

3.详细解释

三、摘要或结论

本文对MEMS的主要材料及其性能参数进行了分析。硅、氮化硅、聚合物等材料在MEMS中具有不同的应用，其性能参数对MEMS的设计和制造至关重要。了解这些材料的特性和性能有助于提高MEMS的性能和可靠性。

四、问题与反思

①MEMS的主要材料在制造过程中如何保证其纯度和质量？

②如何优化MEMS材料的性能，以满足特定应用的需求？

③不同材料的MEMS组件在性能和可靠性方面有何差异？

[1]，.微机电系统[M].北京：科学出版社，2018.

[2]，赵六.MEMS材料及其性能研究[J].电子元件与材料，2019，38（2）：15.

[3]陈七，刘八.微机电系统制造技术[M].北京：清华大学出版社，2017.