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MEMS的主要材料及其性能参数
一、主题/概述
二、主要内容（分项列出）
1.小MEMS的主要材料
金属
陶瓷
塑料
晶体硅
有机材料
2.编号或项目符号
1.金属
铝
镍
钛
钴
2.陶瓷
氧化铝
氮化硅
硅酸盐
3.塑料
聚酰亚胺
聚对苯二甲酸乙二醇酯
聚碳酸酯
4.晶体硅
单晶硅
多晶硅
5.有机材料
聚酰亚胺
聚苯乙烯
聚甲基丙烯酸甲酯
3.详细解释
1.金属
镍：耐腐蚀性好，但成本较高。
钛：强度高，耐腐蚀性好，但加工难度大。
钴：耐腐蚀性好，但成本较高。
2.陶瓷
氧化铝：硬度高，耐磨性好，但脆性大。
氮化硅：硬度高，耐磨性好，耐高温，但成本较高。
硅酸盐：成本低，但性能较差。
3.塑料
聚酰亚胺：耐高温，耐腐蚀性好，但成本较高。
4.晶体硅
单晶硅：导电性好，但成本较高。
多晶硅：成本低，但导电性较差。
5.有机材料
三、摘要或结论
本文介绍了MEMS的主要材料及其性能参数，分析了不同材料的优缺点。在选择MEMS材料时，应根据应用需求、成本和加工工艺等因素综合考虑。
四、问题与反思
①MEMS材料的选择对器件性能有何影响？
②如何提高MEMS材料的耐腐蚀性？
③MEMS材料在高温环境下的性能如何？
[1]，.微机电系统[M].北京：科学出版社，2010.
[2]，赵六.MEMS材料与工艺[M].上海：上海交通大学出版社，2015.
[3]张七，刘八.微机电系统设计与应用[M].北京：清华大学出版社，2018.
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