直拉单晶棒少子寿命的检测.pptVIP

籽晶晶体定向的检测

Detectionofseedcrystalorientation检测依据及设备、原理检测作业指导书检测数据分析234采样及其样品处理1检测报告书5采样及其样品处理单晶棒单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性一、采样试样待测面用28~42μm或20~28μm金刚砂研磨或喷砂。对圆片试样，用5~14μm氧化铝或金刚砂研磨上下表面。二、样品处理检测依据检测设备如果波长为λ的单色X射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsinθ=nλ，对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为2θ的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。Ｘ射线晶体定向仪原理：1X射线的性质：感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、衍射作用2一台X射线定向仪主要由下几个部份组成：X射线发生部分X射线检测部分样品台及转角测量部分01在检测前首先确认被测晶体是否为单晶；定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面；记住样品假定的方向。1、对晶体要求：022、实验仪器：X射线定向仪、硅片检测作业指导书3、实验步骤：3、实验步骤：①用前，开机预热5-10min；②查表，找与之对应的布喇格角θ；③调节盖革计数管放置在2θ的位置上；④开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间；⑤开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值；⑥换硅片，重复第5步操作；⑦当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180?，重复上面步骤，两次测量结果取平均值；⑧将样品位置复原后，旋转90?后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值⑨利用公式，当时，计算出Φ值数据分析α＝x－﹙－x﹚＝31°β＝y－（－y）＝108°Φ＝1°53′数据x-xy-y测试值15°19′14°48′14°26′16°14′