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张素侠2021.12上海微纳器件光电测试方法介绍
现状1、光电测试原理2、针对的测试对象3、现有方法缺点4、已经有的产品目录新方法1、测试原理2、仪器介绍3、测试案例4、升级空间
原理光电测试系统基于器件具有光电效应；在光的照射下，某些物质内部的电子会被光子激发出来而形成电流，即光生电
常见光电效应的器件添加标题添加标题光电耦合器添加标题添加标题单击此处添加文本单击此处添加文本单击此处添加文本单击此处添加文本光敏管光敏电阻光电二极管太阳能电池PMT钙钛矿，硅基光敏二极管，三极管
常见光电效应的器件光敏二极管、光敏三极管光电二极管感应波长常规探测器，维纳器件器件大小紫外，可见，红外
应用方向晶圆分析，二维材料（石墨烯），纳米材料......添加标题添加标题
常见光电效应的器件
DSR300微纳器件测试系统可调单色光源和激光同时共存；预留1路外置激光器，3路内置半导体激光；电动台mapping功能；CCD同轴监控光斑位置；
常见光电效应的器件调节阈值重复性
新方法1、测试原理2、仪器介绍3、测试案例4、升级空间
原理介绍
仪器介绍振镜模式LBIC测试系统样机显微光路，光斑位置控制使用振镜；配备20x，奥林巴斯的显微物镜；最大扫描范围：260umX200um@20x；激光光斑尺寸小于：2um；重复性小于1um；分辨率：小于150nm；
仪器介绍稳定性：+/-0.25%
仪器介绍框图选择测试位置实时显示测试位置实现显示测试数据大小实时显示测试效果实时显示测试进度实时显示测试用时间
仪器介绍
仪器介绍
仪器介绍
仪器介绍
仪器介绍
测试案例si基探测器
测试案例si基探测器
测试案例二维材料-WSe2
测试案例
测试展望添加全光谱光谱响应度测试功能；
谢谢！
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