中南大学-透射电镜-2.ppt

電子显微分析;基本内容;金相显微镜的成像;目镜的成象;显微镜的成象;透镜的象差;物镜和目镜;增大孔径角的措施;显微镜的平面辨别率;显微镜的垂直鉴别能力;金相显微镜光源的规定;偏光显微技术;偏光在金相中的应用;14;相衬显微技术;应用事例;微分干涉技术;高温金相;第壹章電镜的构造与成象;3)由于光的衍射，使得由物平面内的點O1、O2在象平面形成壹B1、B2圆斑（Airy斑）。若O1、O2靠的太近，過度重叠，图象就模糊不清。;图（c）两個Airy斑

明显可辨别出。;4）對于光學显微镜，N.A(nsinα)的值均不不小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可見光的波長有限，因此，光學显微镜的辨别本领不能再次提高。

5）提高透镜的辨别本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可見光波長更短的光线才能处理這個問題。;h——Plank常数，

m——

v——電子速度;1.3電子透镜

1）電子可以凭借轴對称的非均匀電場、磁場的力，使其會聚或发散，從而到达成象的目的。

由静電場制成的透镜——静電透镜

由磁場制成的透镜——磁透镜

2）磁透镜和静電透镜相比有如下的長处

目前，应用较多的是磁透镜，我們只是分析磁透镜是怎样工作的。;3）磁透镜使電子會聚的原理;图1-3（b）A點位置的B和v的分解状况;4）磁透镜构造剖面图;所有從O點出发的電子类似的轨迹运動，在v壹定期，當轨迹与轴的角度很小時，電子會聚在O’點（O）的象。

平行于轴的電子运動轨迹如下图所示;我們有下面的結论：

1）所有從同壹點出发的不壹样方向的電子，經透镜作用後，交于象

平面同壹點，构成對应的象。

2）從不壹样物點出发的同方向同相位的電子，經透镜作用後，會聚

于焦平面上壹點，构成与试样相對应的散射把戏。

有极靴的透镜

极靴使得磁場被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到1mm左右。

在此小的区域内，場的径向分量是很大的。计算透镜焦距f的近似公式

為;O;有极靴;1.4電子透镜的缺陷和理论辨别距离

電子透镜也存在缺陷，使得实际辨别距离遠不不小于理论辨别

距离，對???镜辨别本领起作用的是球差、象散和色差。

1）球差

球差是由于電子透镜的中心区域和边缘区域對電子的會聚能力

不壹样而导致的。遠轴的電子通過透镜是折射得比近轴電子要厉害的

多，以致两者不交在壹點上，成果在象平面成了壹种满散圆斑，半

径為

還原到物平面，则

為球差系数，最佳值是0.3mm。

為孔径角，透镜辨别本领随增大而迅速变壞。;α;2）象差

磁場不對称時，就出現象差。有的方向電子束的折射比别的

方向强，如图1-5（b）所示，在A平面运行的電子束聚焦在Pa點，

而在B平面运行的電子聚焦在Pb點，依次类推。

這样，圆形物點的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半

径為

還原到物平面

為象散引起的最大焦距差；

透镜磁場不對称，也許是由于极靴被污染，或极靴的机械不

對称性，或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁場的

電磁消象散器来校正。;平面B;3）色差

電子的能量不壹样，從而波長不壹导致的，電子透镜的焦距伴随電子能量而变化，因此，能量不壹样的電子束将沿不壹样的轨迹运動。产生的漫散圆斑還原到物平面，其半径為

是透镜的色差系数，大体等于其焦距，是電子能量的变化率。

引起電子束能量变化的重要有两個原因：壹是電子的加速電压不稳定；二是電子束照射到试样時，和试样互相作用，壹部分電子发生非弹性散射，致使電子的能量发生变化。

使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射電子挡掉，将有助于減小色散。;能量為E的

電子轨迹;在電子透镜中，球差對辨别本领的影响最為重要，由于没有壹种简便的措施使其矫正，而其他象差，可以通過某些措施消除;;相對应的最佳光阑直径

式中的f為透镜的焦距。将代入（1-15）可得

目前，通用的较精确的理论辨别公式和最佳孔径角公式為

将各类電镜缺陷的影响減至最小，電子透镜的辨别本领比光學透镜

提高了壹仟倍左右。;1.5電子透镜的場深和焦深

電子透镜辨别本领大，場深（景深）大，焦深長。

場深是指在保持象清晰