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日本三井化学退出三氟化氮业务,我国电子特气竞争力有望加强
——化工新材料行业简评
投资要点:
事件:5月26日,日本巨头三井化学宣布,决定退出其全资子公司下关三井化学生产的三氟化氮(NF3)业务,生产将于2026年3月底停止,销售将于同年内结束。三井化学表示,关停的原因由于海外产品价格竞争加剧、原材料及公用工程成本上涨、维修等成本上升,该业务盈利极为困难。虽然公司采取了各种合理化和削减成本的措施,但很难确保继续经营所需的利润,因此决定退出该业务。
三氟化氮:半导体制造的“隐形关键材料”。三氟化氮(NF3),在纯净状态下通常被认为是无色无味气体。在低温时呈现为不透明固体,温度上升到-216.54℃时变为透明,熔点为
-206.79℃,沸点为-129.01℃,相对密度1.537(-129℃)。在高温下表现出良好的稳定性,可耐受高达627℃的温度。通常用熔盐电解法制得,也可直接氟化氨化钠或氨气而获得。采用辉光放电法使氮气和氨气直接作用也能制备三氟化氮。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
电子气体受益新兴行业发展需求,目前海外四大巨头仍处垄断地位。据ACMI相关数据显示,预计2025年全球电子特气市场规模将达到60.23亿美元。据卓创资讯,2024年国内电子气体市场预计200亿元左右,电子大宗与电子特气分别整体占比55%/45%。广义上的电子气体是指具有电子级纯度的特种气体,主要分为电子大宗气体及电子特气,广泛应用在包括集成电路、显示面板、半导体照明和光伏等泛半导体行业。电子大宗供应品种少,稳定性保供性要求高;电子特气多达数百种,多用于光刻、刻蚀、掺杂、沉积等工艺环节。竞争格局上,国际主要供应商60多家,主要分布在美欧日韩,通过整合兼并,形成空气产品、林德、液化空气和大阳日酸四大气体公司。在芯片用电子气体领域,四大公司在建设芯片工厂时同步建设气站和供气设施,提供整套气体解决方案,占全球近70%市场份额。
我国电子气体国产化水平提升,三氟化氮已成为净出口产品。随着近年来集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、高端装备制造、医疗健康等国家重点发展的新兴行业的发展,我国在电子级气体领域国产化有所快速提升,以三氟化氮为例,2023年,全球三氟化氮产能4.7万吨/年,产量4.4万吨,开工率为93%;中国三氟化氮产能为2.5万吨/年,产量约2.4万吨。中国生产商主要有中船特气、中国中化(昊华气体)、南大光电等。中国三氟化氮产能产量逐步提高,随着客户认证的增多,三氟化氮成为净出口产品。2023年进口量为
344.23吨,出口量为2545.42吨,出口量是进口量的7.39倍。
投资建议:日本三井化学退出三氟化氮业务,或正说明我国相关产品已具备国际竞争力,并有望承接其退出市场,进一步扩大国际市场占有率。建议关注电子级气体相关上市代表企业:南大光电、中船特气、昊华科技、雅克科技等。
风险提示:下游电子等行业需求不及预期风险;我国电子气体企业下游市场拓展不及预期风险;海外贸易保护政策风险。
基础化工
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2025年05月28日
标配
证券分析师
证券研究报告HTTP://WWW.LONGONE.COM.CN请务必仔细阅读正文后的所有说明和声明
业简评
行业研究
24-0524-0824-1125-02
申万行业指数:基础化工(0722) 沪深300
27%
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行
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