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激光光束质量分析实验

1.1实验目的

随着激光应用领域的不断拓展，激光的许多应用已经从最初的创新性工艺研究转变为标

准的应用技术，由此相应带来激光参数的标准化问题。在所有的激光参数中，激光束的光束

质量处于相当特殊的地位。一方面，几乎所有的实际应用都涉及光束参量，另一方面，对光

束质量的定义又始终未统一标准。

2

1988年，A.E.Siegman利用无量纲的量——光束质量M因子较科学合理地描述了

激光束质量，并由国际标准组织采纳(ISO11146)。M2因子克服了常用的光束质量评价方法

的局限，对激光光束的评价具有重要意义。

本实验通过对激光光束参数（束腰半径、远场分散角（半角））的实际测量而获得对光

2

束质量（以M因子为评价指标）的感性和理性认识。

1.2实验原理

1.2.1M2因子简介

2

M因子是与激光光束横向分布的模阶数相关的参数，其定义为

2wm0qm

M（1）

wq

00

式中w和w分别为被测实际光束和理想高斯光束的束腰宽度（半宽度，束宽按二阶

m00

矩定义），m和0分别为被测实际光束和理想高斯光束的远场发散角（半角）。光束的束腰

宽度和远场发散角的乘积也称光束参数乘积，所以M2因子的物理意义为实际的光束参数乘

积与理想高斯光束的光束参数乘积之比。

对于理想高斯光束，容易得到

l

wq（2）

00

p

为激光波长。可以证明，束宽以二阶矩定义时，有

M21（3）

22

式中的等号只有对理想高斯光束成立，其他任意光束的M因子均大于1。M因子越大，

则在相同束腰宽度条件下远场发散角越大，光束质量也就越差。M2因子采用理想高斯光束

作为参比较标准，其值定量反映了被测光束的光束质量乘积偏离理想高斯光束的光束参数

乘积的程度。

M2因子不适合于评价高能激光的光束质量，高能激光的谐振腔一般是非稳腔，输出的

激光光束不规则，将不存在“光腰”，而且，对于能量分布离散型的高能激光光束，由二阶

矩定义计算得到的光斑半径和实际相差很远，得到的M2因子误差将会很大。另外，M2因

子要求光束截面的光强分布不能有陡直边缘，因此对于“超高斯光束”，“圆环光束”等，

2

M因子也不适用。当然，还有多种其它的光束质量评价标准，如远场发散角，焦斑尺寸等，

请同学们自己查阅相关知识。

1.2.2实验设计

2

观察M因子的定义，将（2）式带入（1）式，可以得到：

2p

Mwm0qm（4）

l

式中，w为实际光束束腰半径，θ为光束远场发散角半角。可见，我们实验需要测

m0m

得的量有两个，即w和θ。

m0m

对于实际的多横模激光器输出的光束，常需引入嵌入理想高斯光束的概念来讨论问题。

如图一