蓝宝石基钽酸锂键合晶圆技术要求编制说明.docxVIP

下载本文档

0
0
约4.8千字
约 9页
2025-07-10 发布于上海
举报
版权申诉

蓝宝石基钽酸锂键合晶圆技术要求编制说明.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

《蓝宝石基钽酸锂键合晶圆技术要求》编制说明

1项目背景

在新一代信息技术快速发展的背景下，高性能射频通信系统对材料集成技术提出了更高要求。钽酸锂（LiTaO3）作为兼具电光、压电与热释电特性的功能材料，在声表面波器件、光学调制器及传感器等领域占据关键地位。在声表面波滤波器(SAW)应用中，钽酸锂单晶衬底通常仅能用于制作Q值较低，没有温度补偿的低端滤波器，因此由钽酸锂单晶与其它晶体材料键合得到的复合晶圆，逐渐在高端声表面波滤波器制作中获得更多的应用。蓝宝石（Al2O3）作为一种成熟的衬底材料，具有高硬度、耐高温、化学稳定性好、高电阻率（1014Ω?cm）等优点，且与钽酸