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摘要
在化工生产环境下，H和CO等危险气体泄露是化工业生产过程中不可忽略
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的安全问题。因此，气体检测是预防处置爆炸和中毒安全事故发生的重要手段，
气体传感器在安全生产、安防等领域展现出了良好的应用前景。MOS气体传感
器凭借其低成本、简易结构、全固态、体积小、响应性能可调等出色优点成为气
体传感器研究领域的前沿和热点之一。氧化锌（ZnO）具备优异的电荷迁移率，
同时化学特性稳定以及易加工，已经成为一种重要的敏感材料。本论文基于微电
子机械系统
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