MEMS一体化平面电极构筑新型电化学角加速度传感器的关键技术与性能优化研究.docxVIP

MEMS一体化平面电极构筑新型电化学角加速度传感器的关键技术与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

角加速度作为自然界中最基本的运动形态之一，在诸多领域都有着不可或缺的地位。尤其是在地震学领域，其重要性愈发凸显。地震发生时，刚体在一点的运动并非简单的直线运动，而是复杂的六自由度振动，涵盖了三个平动和三个转动分量。然而，传统的地震动测量方法往往局限于对一个垂直轴和两个水平轴的平动分量进行测量，在建筑结构的抗震设计中，也常常忽视转动分量的影响。但实际情况是，近场地震动的转动分量表现得极为明显。因此，角加速度的准确测量对于地震学研究而言，就像基石对于高楼，是深入探究地震机制、提高地震监测精度以及优化建筑抗震设计的关键所在。

目前，应用于地震学领域角加速度测量的传感器主要分为基于固体惯性质量和液体惯性质量的两类。基于固体惯性质量的角加速度传感器，以中国地震局工程力学研究所提出的基于轮辐式弹簧的双摆电容换能的加速度传感器为典型代表。这种传感器在性能上较为接近强地震角加速度的监测以及土木工程结构转动的测量要求，并且已有实际应用案例。但不可忽视的是，它存在着一些局限性，如低频截止频率偏高，这限制了对低频信号的有效监测；体积大、重量大，在一些对设备便携性要求较高的场景中难以施展；抗冲击能力差，面对复杂的地震环境时稳定性不足；测量范围小，无法全面覆盖各种地震情况。这些缺点在实际测量中会带来诸多不便，也对测量结果的准确性和全面性造成了一定的阻碍。

基于液体惯性质量的电化学角加速度传感器则展现出了独特的优势。它具有良好的低频性能，能够捕捉到低频信号的细微变化，这对于地震学研究中对低频地震动的监测至关重要；无机械噪声，使得测量结果更加纯净，避免了机械噪声对信号的干扰；功耗低，在长期监测或能源有限的情况下具有明显优势；工作倾角大，适应不同的安装环境和测量条件；重量轻、体积小，便于携带和安装，能够灵活应用于各种场景。这些优势使得电化学角加速度传感器在地震学领域角加速度测量中脱颖而出，成为了极具潜力的选择。

在电化学角加速度传感器中，敏感电极是核心部件，其性能直接影响着传感器的整体性能。传统的电化学角加速度传感器的敏感电极为编织铂网电极，采用陶瓷烧结技术制作而成。这种制作工艺就像一场复杂而精细的手工活，过程繁琐，不仅需要高超的技术和丰富的经验，而且成品率低，每一步操作都可能影响最终的质量。电极对齐困难也是一个棘手的问题，这就好比将无数个微小的零件精准地拼接在一起，稍有偏差就会影响传感器的性能一致性。此外，电极结构可调参数有限，难以根据不同的测量需求进行灵活调整。这些问题严重限制了电化学角加速度传感器的进一步发展，就像给一匹千里马套上了沉重的枷锁，束缚了它的奔跑速度。

随着MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微电子机械系统）技术的蓬勃发展，基于MEMS技术的传感器因其具备标准的制造工艺，如同工业化生产的精密仪器，各个器件之间具有很高的一致性，从而具备了成本低和可批量化生产的优点。这使得MEMS技术在传感器领域得到了广泛的应用和关注。将MEMS技术引入到电化学角加速度传感器的设计与制造中，就像是为古老的工艺注入了新的活力，有望解决目前传统电化学角加速度传感器所存在的一系列问题，满足地震学领域角加速度测量的实际应用需求。在众多基于MEMS技术的改进方案中，MEMS一体化平面电极的出现具有重要意义。它通过创新的设计和工艺，实现了电极一体化，无需进行四电极结构与绝缘层之间复杂的对准操作，大大提高了器件的一致性。同时，电极参数，如电极尺寸、电极间隔等，方便调节，不再受传统加工方法的尺寸限制，这为传感器性能的优化设计提供了广阔的空间，就像为设计师提供了一套更加灵活多样的工具，能够根据不同的需求打造出性能更优的传感器。此外，MEMS一体化平面电极还大大简化了器件的电极制作以及封装工艺，这对于器件的大规模生产和应用来说，无疑是一个巨大的福音，能够降低生产成本，提高生产效率，使更多的用户能够享受到高性能的电化学角加速度传感器带来的便利。

1.2国内外研究现状

在角加速度传感器的发展历程中，基于固体惯性质量的角加速度传感器率先取得了一定成果。中国地震局工程力学研究所提出的基于轮辐式弹簧的双摆电容换能的加速度传感器，堪称该领域的代表性成果。它在性能上与强地震角加速度的监测以及土木工程结构转动的测量要求高度契合，并且在实际应用中也有出色表现，为相关领域的研究和实践提供了重要的技术支持。然而，金无足赤，人无完人，这种传感器也存在着一些明显的缺陷。其低频截止频率偏高，这使得它在低频信号监测方面显得力不从心，无法捕捉到低频信号的细微变化；体积大、重量大的特点，限制了它在一些对设备便携性和安装空间有严格要求的场景中