纳米颗粒射流抛光：数值模拟与实验耦合探究.docx

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2025-07-18 发布于上海
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纳米颗粒射流抛光：数值模拟与实验耦合探究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，光学、微电子等领域对材料表面质量提出了前所未有的高要求，超光滑表面的需求日益迫切。在光学领域，高精度的光学镜片、反射镜等元件，其表面粗糙度和形状精度直接影响到光线的传播、聚焦和成像质量。例如，在高端光学望远镜中，反射镜的表面粗糙度需达到纳米级，才能确保清晰地捕捉到遥远天体的微弱光线，为天文学研究提供准确的数据。在微电子领域，随着集成电路集成度的不断提高，芯片上的晶体管尺寸越来越小，对硅片等衬底材料的表面平整度和光滑度要求极高。只有超光滑的表面才能保证电子元件的性能稳定，减少信号传输的损耗和干