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- | 2025-06-30 颁布
- | 2026-01-01 实施
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ICS71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
/—//:
GBT329962025ISOTS251382025
代替/—
GBT329962016
表面化学分析辉光放电发射光谱法
分析金属氧化物膜
—
SurfacechemicalanalsisAnalsisofmetaloxidefilmsblowdischare
yyygg
oticalemissionsectrometr
ppy
(/:,)
ISOTS251382025IDT
2025-06-30发布2026-01-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—//:
GBT329962025ISOTS251382025
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4原理………………………1
5仪器………………………1
6调节辉光放电谱仪系统设置……………3
7取样………………………9
8建立工作曲线……………9
9测试样品的分析…………………………14
10分析结果的表示………………………15
11精密度…………………16
12试验报告………………16
()………
附录资料性工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价
A
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