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2025《某直线电机精密气浮平台系统的气浮运动模块结构设计案例》3100字.docx

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    某直线电机精密气浮平台系统的气浮运动模块结构设计案例

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    TOC\o1-3\h\u24108某直线电机精密气浮平台系统的气浮运动模块结构设计案例 1

    272031.1运动模块整体说明 1

    196751.2静压气浮导轨副的设计 2

    202041.2.1导轨的作用和设计要求 2

    204431.2.2静压气浮导轨工作原理 2

    270271.2.3气浮导轨的常见形式 3

    289411.2.4导轨的设计 4

    77241.2.5滑块的设计 6

    183961.3气体通路的设计 7

    11691.4编码器的安装设计 8

    1.1运动模块整

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