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EBSD初级原理及简单应用

报告人：王明明

时间：11月15日

燕山大学先进钢铁材料课题组1

目录

1EBSD基础知识

2数据采集软件(OIMDataCollection)的使用

3数据分析软件(OIMAnalysis)的使用

4试样的制备

燕山大学先进钢铁材料课题组2

1.EBSD基础知识

1.1硬件108

电子枪

接收器

107

样

试

磷屏

当成一张纸EDAX

燕山大学先进钢铁材料课题组3

1.EBSD基础知识

b

1.2菊池花样

a

2dsinθ=nλ

c

强弱衍射锥与荧光板相交，

形成菊池带(Kikuchi)

参考《材料电子显微分析》，张静武，P51-54，91

燕山大学先进钢铁材料课题组4

1.EBSD基础知识

1.2菊池花样

3.(200)面的面间距比

(2-20)面的宽，(200)

面带宽比(2-20)面的

窄。

镍样品菊池带

1.每个菊池带都可以指标化为产生该菊池衍射

的晶面指数；

2.几个菊池带相交的点（菊池极）对应于晶带

轴方向与荧光屏的交点，这些点可指标化为

晶带轴指数。

燕山大学先进钢铁材料课题组5

1.EBSD基础知识

1.3菊池花样鉴定

失配度:Fit

Fit越小，

测试结果和数据库文件

吻合度越高。

三条带

数据库

对比结果：

c

ab燕山大学先进钢铁材料课题组6

1.EBSD基础知识

1.3菊池花样鉴定

对

可

能

结置信度因子

果

进CI

行

投

票

置信度因子:CI（ConfidenceIndex）

CI越大，准确度越高。

此外，参与计算的条带数n越多，计算结果越准确。

燕山大学先进钢铁材料课题组7

1.EBSD基础知识

1.3菊池花样鉴定

确保正确率达到90%，

CI＜0.1的删除

CI＜1.0