多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiAlCN薄膜：结构与性能的深度剖析.docx

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2025-10-18 发布于上海
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多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiAlCN薄膜：结构与性能的深度剖析.docx

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多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiAlCN薄膜：结构与性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，薄膜材料凭借其独特的性能优势，广泛应用于众多工业领域。TiAlCN薄膜作为一种新型的多元复合薄膜，融合了Ti、Al、C、N等元素的特性，展现出优异的综合性能，如高硬度、良好的耐磨性、出色的耐腐蚀性以及较高的热稳定性等，在切削刀具、模具制造、航空航天等领域有着巨大的应用潜力。例如，在切削刀具表面涂覆TiAlCN薄膜，能够显著提高刀具的使用寿命和切削效率，降低生产成本；在航空航天领域，TiAlCN薄膜可用于保护发动机部件，提高其在高温、高压等恶劣环境下的性能和可靠性。