铜铬共掺杂类金刚石碳基薄膜：制备工艺、微观结构与性能关联的深度剖析.docx

下载文档

2
0
约1.93万字
约 16页
2025-10-18 发布于上海
举报
版权申诉
保障服务

铜铬共掺杂类金刚石碳基薄膜：制备工艺、微观结构与性能关联的深度剖析.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

铜铬共掺杂类金刚石碳基薄膜：制备工艺、微观结构与性能关联的深度剖析

一、引言

1.1研究背景

类金刚石碳基薄膜（DLC）作为一种亚稳态的非晶碳材料，自20世纪70年代被发现以来，在材料科学领域引起了广泛关注。其独特的结构，碳原子以sp2和sp3杂化键的形式共存，赋予了它一系列优异的特性。在硬度方面，DLC薄膜可达到天然金刚石硬度的20%-80%，显著提升了材料的耐磨性，在机械加工、航空航天等领域有着重要应用。例如，在航空发动机的叶片表面涂覆DLC薄膜，可有效减少叶片在高速旋转过程中与空气、颗粒等物质的摩擦磨损，延长叶片使用寿命。在电子领域，DLC薄膜的高电阻率使