第3章 激光测量 20134.docxVIP

激光在精密测量中的应用

激光干涉测量激光衍射测量

激光测距

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激光干涉测量技术

干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术。20世纪60年代以来，由于激光的出现使干涉测量技术得到长足发展。

干涉测量技术大都是非接触测量，具有很高的测量灵敏度和精度。干涉测量应用范围十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等方面的测

量。在测量技术中，常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪、马赫-泽德干涉仪、萨格奈克(Sagnac)干涉仪、菲索干涉仪等；70年代以后，抗环境干扰的外差干涉仪(交流干涉仪)发展迅速，如双频激光干涉仪等；近年来，光纤干涉仪的出现使干涉仪结构更加简单、紧凑，干涉仪性能也更加稳定。

在干涉测量中，干涉仪以干涉条纹来反映被测件的信息，其原理是将光分成两路，干涉条纹是两路光光程差相

同点联成的轨迹。而光程差△是干涉仪两支光路光程之差，可用下式表示

式中，n;、n分别为干涉仪两支光路的介质折射率：li,lj分别为干涉仪两支光路的几何路程差。若把被测件放入干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差将随着被测件的

位置与形状而变，干涉条纹也随之变化，测量出干涉条

纹的变化量，便可直接获得l或n,还可间接获得l或n有关

的各种被测信息。

激光干涉测量长度和位移

激光干涉仪是一种所谓“增量法”测长的仪器，它是把目标反射镜与被测对象固联，参考反射镜固定不动，当目标反射镜随被测对象移动时，两路光束的光程差即发生变化，干涉条纹也将发生明暗交替变化。若用光电探测器接收，当被测对象移动一定距离时，条纹亮暗交替变化一次.光电探测器输出信号将变化一个周期，记录下信号变化的周期数，便确定了被测长度。以迈克尔逊干涉仪为例，设在测量开始时，一束激光经分光器B被分成两束，它们经参考反射镜M?和目标反射镜M?后沿原路返回，并在分光点O处重新相遇，两束

光的光程差

△?=2n(Lm-L)

式中n为空气的折射率，Lm为目标反射镜M?到分光点0的距离。L为参考反射镜M?到分光点O的距离。

测量结束时。目标反射镜M?移过被测长度L后，处于M?的位置。此时两光束的光程差△?=2n(Lm+L-L)=2nL+△

迈克尔逊干涉仪测长示意图

迈克耳孙干涉仪

迈克耳孙干涉仪

M

光束1可移动平台

P

M?厂

待测物体

激光束光束2

单模稳频He-Ne激光器

光电显微镜

光电计数器

显示记录装置

在测量开始和结束这段时间里，光程差的变化量

d△=△?-△?=2nL

光程差每变化一个波长，干涉条纹就明暗交替变化一次，则测量过程中与d△相对应的干涉条纹变化次数

式中，入。为激光光波中心波长

测得干涉条纹的变化次数K之后，即可由上式求得被测长度L。在实际测量中，采用干涉条纹计数法，测量开始时使计数器置零，测量结束时计数器的示值即为与被测长度L相对应的条纹数K。可把上式改写为

式中，λ=λ。/n,λ是激光光波在空气中的波长。

激光干涉测长仪的主要结构

·激光光源：它一般是采用单模的He-Ne(同位素)气体激光器，

输出的是波长为0.6328微米的红光。为提高光源的单色性，

对激光器要采取稳频措施；

·迈克尔逊干涉仪：由它来产生干涉条纹；(核心部件)

·可移动平台：它携带着迈克尔逊干涉仪的一块反射镜和待测物体一起沿入射光方向平移。由于它的平移，使干涉仪中的干涉条纹移动；

·光电计数器：其作用是对干涉条纹的移动进行计数；

·显示和记录装置：其作用是显示和记录光电计数器中记下的

干涉条纹移动的个数或与之对应的长度；

●光电显微镜：作用是对准待测物体，分别给出起始信号和终止信号；

迈克尔逊干涉仪的基本误差分析

◎如果我们不考虑计数N的误差，则由于波长的不稳定所造成的测长L的相

对误差为(前者是干涉测长系统的设计问题，后者是波长的相对误差)

●如果我们要求在一米长的范围内由于波长不稳定所引起的测量误差小于

0.1μm,则要求激光波长的稳定度为

●上述要求也是对激光频率稳定度的要求。实际上，除频率不稳定引

起的误差外，还有条纹计数误差、对准误差等等一系列的测量误差。因此，对激光频率的稳定性的要求就更高些。在本书第四章中曾指出，一般环境条件影响引起的频率相对变化约为107,所以要获得：10-?

的频率稳定度，必须采取一定的稳频措施

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二、测量系统组成

激光干涉测量仪的主要部分有：激光干涉仪系统、干涉条纹计数和处理测