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三坐标的测量精度及误差分析概述

1.1精度分级

目前三坐标测量机的精度分级尚无统一规定,按国内外三坐标测量机精度状况,大体可分为三级。

（1）高精度

系指三坐标测量机单轴示值精度,在1m的测量范围内误差值在±5μm以下。

（2）中等精度

系指三坐标测量机单轴示值精度,在1m的测量范围内的误差值在±(5~15)μm以内。

（3）低精度

系指三坐标测量机单轴示值精度,在1m的测量范围之内的误差值大于±15μm。

1.2主要精度指标

三坐标测量机的精度主要由以下4部分组成。

（1）几何精度

几何精度对测量机总精度起着主要影响作用,所以应予以重视。几何精度有以下几项:

1)工作台面与X,Y移动平面的平行度;

2)X,Y,Z向移动的直线度,每个坐标轴都有两个方向的直线度;

3)X,Y,Z方向移动的角度变化;每个坐标轴有3个方向的角度变化;

4)X,Y,Z方向移动的相互垂直度,总共有3个垂直度。

（2）示值精度

示值精度是沿各坐标轴测得的三坐标测量机位置读数与基准长度测量系统读数的差值,有3个测量参数,即X,Y,Z各轴的位置精度。示值误差主要为坐标位置的点位精度。它不包括测头和被测工件表面状况及温度的影响等。一般用激光干涉仪或刻线尺的读数为基准进行比对。

三坐标测量机的示值精度按国际标准IsO10360——02和国GB/T16857.2——1997以及JJF1064——2000的规定,其表达式为:

E=A+L/K≤B

或E=A+L/K

或E≤B

式中:A——常数(μm),由三坐标测量机制造厂家提供;K——无量纲常数,由三坐标测量机制造厂家提供；L——被测长度(mm);B——E的最大值(μm),由三坐标测量机厂家提供。

目前国内三坐标测量机的示值精度按JJG799-1992三坐标测量机检定规程考核,按精度高低分A,B,C3类。具体指标如表1.1。表中L为测量长度(mm)。

表1.1三坐标示值精度分类

类别

示值误差（um）

A

0.8+L/500

B

1.6+L/250

C

4+L/125

（3）总机测精度(综合误差)

总机测量精度有以下两项组成。

1)单轴长度测量精度

单轴长度测量精度是基准量块长度与相应的测量机测长读数之差,分别对X,Y,Z3个坐标轴进行测量。受检长度为坐标量程的1/3,1/2和3/4。

将量块借助支架固定在平行于坐标轴线的任意方向上，而且在被检坐标工作行程的中间部位。移动滑架或工作台,使三坐标测量机的测头与量块一工作面接触测量5点,以此确定基准面及其轴线;然后移动滑架或工作台,使测头与量块另一工作面中心位置接触测量,经计算机数据处理求出测得值;读出值与量块的实际尺寸之差为单轴综合误差。

2)空间长度测量精度

空间长度测量精度是量块中心长度与测量机相应读数的差值.量块安放在三坐标测量机测量空间的中央位置上,与其对角线找正,分别在4个对角线方位进行。在每个位置上用3种长度的量块进行测量,其长度分别为被测轴满量程的1/3,.1/2和3/4,最大长度可达1000mm。

按上述方法同样进行测量,每一条对角线方位的每一尺寸至少检定两次,两次测得的空间误差均应符合要求。

按JJG799-1992的要求,综合误差应不超过表5-2的规定。

表5-2三坐标综合精度分类

类别

空间综合误差（um）

单轴综合误差（um）

A

1.5+L/300

1+L/400

B

1.5+L/200

2+L/200

C

1.5+L/150

4.5+L/125

（4）长度测量重复性

长度测量重复性的定义为:各量块在每个位置上重复测量时,三坐标测量机读数的最小和最大数值之差。

对每块量块在每个位置上可测得10个测量值,其最大差值即为长度测量重复性。

按JJG799--1992检定规程的规定,测量的重复性应不超过表5-3中数值。

表5-3三坐标重复精度分类

类别

测量的重复性（um）

A

0.7

B

1.4

C

3.5

（5）探测系统的精度

按国标GB/T16857.2——1997(相当于ISO10360——2:1994)的规定,探测系统的检测是通过测定标准球上径向距离r值的变化范围,验证三坐标测量机的探测系统是否符合制造厂给出的R值。用测头检测标准球,球的安装应牢固,以免产生偏移误差.测头的方位可任选,按制造厂规定的程序设置并标定测头系统。在标准球上随机取25个典型点,测量并记录各点的坐标值。点在半球上的分布应尽量均匀,用25个值计算出最小二乘球的中心坐标值,并对25个值分别计算出径向距离r.然后算出25个径向距离的变化范围(rmx——rmin)。如果未超出制造厂规定的R值,则探测系统的性能为合格。否则，应对探测系统作彻底检查,重新标定测头系统,再测--次;如果复测的r值变化范围小于R值,则探测系统性能属合格。

1.3误差来源

三坐标测量机的误差一般由下列几