离子镀技术光学镀膜技术王建敏98课件.pptx

离子镀技术光学镀膜技术主讲人：王建敏

光学镀膜技术

热蒸发技术溅射技术

离子镀

离子镀在众多领域有着广泛应用，比如在航空航天领域，它能为飞行器零部件镀上高性能薄膜，提升其耐磨性和耐腐蚀性；在电子领域，可用于芯片制造中的薄膜沉积。离子镀技术

离子镀技术

离子镀技术离子镀技术基本原理以最简单的两极型离子镀为例膜料通过加热蒸发，蒸发源作为阳极，工件为阴极，在两极间施加高电压，并充入工作气体至1x10-1Pa，从而形成辉光放电。离子镀兼具热蒸发的高成膜速率和溅射高能离子轰击获得致密膜层的双重优势。

离子镀技术离子镀技术基本原理以最简单的两极型离子镀为例在这个过程中，部分膜料原子被离化，在强电场加速下轰