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2025至2030中国光刻机产业链国产化进展与技术突破研究报告.docx

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    2025至2030中国光刻机产业链国产化进展与技术突破研究报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国光刻机产业链发展现状分析 3

    1、产业链整体结构与关键环节 3

    上游原材料与核心零部件供应现状 3

    中游设备制造与系统集成能力评估 5

    2、国产化水平与国际差距对比 6

    各技术节点国产化率统计与趋势 6

    与ASML、尼康等国际巨头的技术参数对比 7

    二、关键技术突破与研发进展 9

    1、核心子系统技术攻关进展 9

    光源系统（EUV/DUV）国产化路径与成果 9

    精密光学系统与双工件台技术突破 10

    2、整机集成与

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