扫描电子显微镜测试与分析陈文军56课件.pptxVIP

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扫描电子显微镜测试与分析主讲老师:陈文军

扫描电子显微镜测试与分析高分辨率:二次电子能量较低,主要来自样品表层几纳米到几十纳米的深度范围。当电子束轰击样品表面时,会使原子外层电子脱离,形成二次电子。这些二次电子被探测器收集,从而形成二次电子像。立体感强:二次电子的发射与样品表面的形貌密切相关,凸起部分产生的二次电子多,而凹陷部分产生的二次电子少,因此能呈现出明显的高低起伏感。对表面敏感:二次电子对样品表面的细微结构、形貌变化非常敏感,能清晰显示出表面的细节。(一)二次电子像二次电子像主要由电子束轰击样品表面产生的二次电子形成。用于观察样品表面的微观形貌、形貌细节、颗粒形态以及表面缺陷等。成像特

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