单晶炉常见设备故障处理流程晶体硅制备技术40课件.pptxVIP

晶体硅制备技术单晶炉常见设备故障处理流程主讲教师：梅艳

引言与任务目标01机械结构故障处理02电气结构故障处理03热场结构故障处理04

水冷系统故障处理05真空及氩气系统故障处理06课堂总结07

Part01引言与任务目标

一、引言与任务目标（一）课程引言设备故障的影响单晶炉设备故障会严重影响单晶硅生产，如提拉头故障使籽晶提拉不稳，影响晶体生长。学习故障处理流程的重要性掌握故障处理流程，能让大家在实际生产中快速解决问题，保障单晶硅生产顺利进行。

一、引言与任务目标（二）任务目标准确判断处理流程要能清晰判断机械、电气、热场等不同类型设备故障对应的处理流程。掌握具体操作方法熟练掌握更换损坏部件、调整参数等针对各类故障的具体操作方法。具备独立处理能力通过学习，具备独立处理单晶炉常见设备故障的能力，为工作打下基础。

Part02机械结构故障处理

二、机械结构故障处理（一）提拉头故障处理故障现象提拉头故障会导致籽晶提拉不稳定，如减速机故障时，籽晶提拉速度不均匀，影响晶体生长。安全操作发现故障后，先停机并切断电源，确保操作安全，避免意外发生。检查维修打开防护盖，检查减速机润滑油是否不足，若零件磨损，按手册型号更换新零件。测试恢复重新安装防护盖，接通电源启动设备，测试籽晶提拉是否恢复正常。

二、机械结构故障处理（二）坩埚下传动装置故障处理故障表现坩埚下传动装置故障会使坩埚升降和旋转异常，如升降不稳定、旋转有问题。清洁润滑若因丝杠、螺母有污物导致升降不稳，停机冷却后，擦净污物并涂抹润滑油。间隙调整电磁离合器工作不良影响旋转时，调整其间隙至0.4-0.6mm合适范围。效果测试完成操作后进行测试，查看坩埚的升降和旋转是否恢复正常。

Part03电气结构故障处理

三、电气结构故障处理（一）电源及控制柜故障处理停电处理：断开负载设备突然停电，需先断开所有设备负载，再检查电源柜开关是否跳闸，若跳闸则合上开关。检查元件若控制柜控制板故障致参数无法设置，对照说明书检查控制板元件是否损坏。更换维修发现损坏元件，拆下后换上同型号新元件；找出短路或过载设备进行维修或更换。参数重置测试换好元件后重新设置参数，测试设备能否正常运行，保障单晶炉正常工作。

三、电气结构故障处理（二）电机故障处理检查电源线电机不转或运转异常时，先检查电源线是否松动，若松动则重新插紧。测量绕组电阻电源线没问题，用万用表测量电机绕组电阻，判断是否短路或断路。维修更换电机电机有问题，将其拆下送专业部门维修或直接更换新电机。调整安装参数更换电机后，重新调整安装位置和参数，确保电机正常带动相应部件运转。

Part04热场结构故障处理

四、热场结构故障处理（一）石墨加热器故障处理故障原因分析单晶炉设备故障会严重影响单晶硅生产，如提拉头故障使籽晶提拉不稳，影响晶体生长。处理操作流程先停机，待炉体完全冷却后打开炉盖，拆下损坏的加热器；安装新加热器时注意位置和连接牢固性；关闭炉盖重启设备，测试温度能否正常上升并稳定。

四、热场结构故障处理（二）隔热部件故障处理先停机冷却，检查并拆下破损或脱落的隔热部件，换上新的同类型部件；重新启动设备，观察炉体表面温度恢复情况及炉内温度稳定性。故障问题表现炉体表面温度过高，这很可能是隔热部件如隔热毡、保温板等出现破损或脱落，导致炉内热损失增加。处理改善方法

Part05水冷系统故障处理

五、水冷系统故障处理（一）分水器及水路布置故障处理水流变小处理若发现冷却水流变小，先停设备、关闭进水阀门，找到堵塞位置，拆开管道用清水冲洗，去除杂质。漏水处理遇到水管漏水，先放掉水，清理漏水处管道，用密封胶或橡胶垫密封，再连接好管道。水流测试处理完堵塞或漏水问题后，重新打开进水阀门，检查水流是否恢复正常，有无漏水情况。

五、水冷系统故障处理（二）冷却水泵故障处理电机与叶轮检查遇到水管漏水，先放掉水，清理漏水处管道，用密封胶或橡胶垫密封，再连接好管道。抽水测试处理完堵塞或漏水问题后，重新打开进水阀门，检查水流是否恢复正常，有无漏水情况。电源检查若发现冷却水流变小，先停设备、关闭进水阀门，找到堵塞位置，拆开管道用清水冲洗，去除杂质。

Part06真空及氩气系统故障处理

六、真空及氩气系统故障处理（一）真空泵及真空除尘装置故障处理检查油位与堵塞若发现冷却水流变小，先停设备、关闭进水阀门，找到堵塞位置，拆开管道用清水冲洗，去除杂质。更换零件与清理滤芯若真空泵内部零件损坏，如叶片磨损，需拆开更换；若真空除尘装置故障，清理灰尘，脏污或损坏的滤芯要换新。真空度测试维修好真空泵后，重新启动，用真空计测量真空度，确保达到设备要求。

六、真空及氩气系统故障处理（二）氩气管道布置故障处理关闭阀门发现氩气流量不稳定或有泄漏，先关闭氩气阀门，为后续处理做准备。高压吹气清堵若管道堵塞