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ICS77.060
CCSH25
中国腐蚀与防护学会团体标准
T/CSCP0059.4-2025
微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感
器
第4部分：元器件选型及测试
Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip
andsensor——
Part4：Componentselectingandtesting
2025-09-01发布2025-10-01实施
中国腐蚀与防护学会发布
T/CSCP0059.4-2025
目次
前言…………………………III
引言…………………………IV
1范围6
2规范性引用文件6
3术语和定义6
4.技术要求6
4.1敏感元器件6
4.2信号处理电路7
4.3封装结构8
5.测试方法8
5.1外观检查8
5.2性能测试8
5.3长期稳定性测试9
6.检验规则10
6.1例行检验10
6.2型式检验10
6.3抽样检验10
7.标志、包装、运输、贮存10
7.1标志10
7.2包装10
7.3运输11
7.4贮存11
附录A12
T/CSCP0059.4-2025
检验项目12
T/CSCP0059.4-2025
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起
草。
本文件是T/CSCP0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》的第4部分。T/CSCP
0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》已经发布了以下部分：
——第1部分：通用要求;
——第2部分：选材与评价;
——第3部分：测试方法;
——第4部分：元器件选型及测试;
——第5部分：电路设计及测试。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国腐蚀与防护学会提出。
本文件由中国腐蚀与防护学会归口。
本文件起草单位：北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、
广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研
究院、中国铁道科学研究院集团有限公司。
本文件主要起草人：杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、
孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张
博威、骆鸿、韩钰、马宏驰。
本文件为首次发布。
T/CSCP0059.4-2025
引言
《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》涵盖了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、
选材、测试及芯片电路、元器件选型设计方法。目前，该标准由五个部分构成：
——第1部分：通用要求。目的是规定MEMS
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