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特种气系统统工程技术规范

2011-04-0708:31：54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号定阅

1总则

1.0。1为了在电子工厂特种气系统统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法例，保证安全靠谱，保

护环境,知足电子产品生产要求，保护人身和财富安全，做到安全合用、技术先进,经济合理.拟订本规范.1。0.2本规范合用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。

1。0。3本规范不合用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。

1。0。4特种气系统统的设计和施工除应切合本规范的规定外，应切合国家现行有关标准的规定。

2术语

2.0。1特种气体specialilygas

用于各样电子产品生产的薄膜气体、混杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。往常包含可燃性气体、氧化性气体、腐化性气体、毒性气体、惰性气体等。

特种气系统统specialitygassystem

特种气系统统是指在用户现场的特种气体的储藏、输送与分派全过程的设备、管道和零件的总称.

2.0。3特种气体间specialitygasroom

是指在电子生产厂房搁置特种气瓶柜、气瓶架、尾气办理装置、气瓶集装格等气体设备，并经过管道向用气设备输送特种气体的房间.

硅烷站

silanestation

是指搁置硅烷储藏设备（气瓶、气瓶集装格、

Y

钢瓶、长管拖车或

ISO标准储罐）、硅烷气化妆置及

尾气办理装置、电气装置等，并经过管道向用气生产厂房供给硅烷气体的独立建修建物或地区

.

2。0。5明火地址

openflamesite

室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地址.

2。0.6散生气花地址

sparkingsite

散生气花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地址.

2.0。7空瓶

emptycylinder

留有节余压力的气体钢瓶.

2.0。8实瓶

fullcylinder

存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶

,特种气体气瓶一般水容积为

40L、47、48L

等各样容积。

气瓶集装格

thebundleofgascylinders

用专用金属框架固定，

采纳集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。

气瓶的个数分别为

9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积往常为

40～50L。

2。0。10气瓶柜

gascabinet(GC)

特种气体使用的封闭式气瓶搁置与管理设备,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧迫迫断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所一定的设备。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手

动、半自动、全自动三类。

2。0.11气瓶架gasrack

（GR）

特种气体使用的开放式气瓶搁置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧迫

切断阀、压力监测及报警等安全设备.气瓶架有手动、半自动、全自动三类。

阀门箱

valvemanifoldbox

（VMB）

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分派零件,VMB在气体进口配置气动阀、手动阀，各支管可配

置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可依据需要

设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口微风压事故报警。

阀门盘valvemanifoldpanel(VMP）

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分派零件，VMP在气体进口配置气动阀、手动阀

置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可依据需要设置调压阀。

,各支管应配

2

。0.14

低蒸汽压力气体

lowvaporpressuregas

在室温下的饱和蒸气压小于

0。2MPa的气体。

2

。0。15

尾气办理装置

localscrubber

用于办理易燃、易爆、有毒、有腐化性等气体的排气与吹扫气体的装置，办理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。

2。0。16气体探测系统gasdetectorsystem（GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其余特种气体输送设备与管道所覆盖地区，经过检测

实质气体或关系气体在空气中的含量来判断实质气体的泄漏,进而发出声光报警信号、供给给急办理数据的系统。

2。0。17气体管理系统gasmanagementsystem(GMS)

包含特种气体探测系统、应急办理系统、工作管理系统、监督系统、数据输送与办理系统的气体管理与控制系统的统称。

2

。0。18最高同意浓度值

thresholdlimitvalue(TLV

）

工作环境空气中有害物质的最高同意浓度值.

2

。0。19爆炸浓度下限值

lowexplosionlimit(LEL

）

可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值

.

2

。0.20卧式气瓶

y—cylinder/t