T∕CSCP 0059.1-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求.pdfVIP

ICS77.060

CCSH25

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.1-2025

微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传

感器

第1部分：通用要求

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip

andsensor——

Part1：Generalrequirements

2025-09-01发布2025-10-01实施

中国腐蚀与防护学会发布

T/CSCP0059.1-2025

目次

前言……………………………III

引言…………………………...IV

1范围5

2规范性引用文件5

3术语和定义5

4一般要求6

4.1外观要求6

4.2电气特性要求6

4.3基本性能参数要求6

4.4结构要求6

5设计要求6

5.1设计原则6

5.2芯片设计6

5.3传感器整体设计7

5.4可靠性设计8

5.5可测试性设计8

6选材要求8

6.1选材原则8

6.2敏感材料与功能材料8

6.3结构材料与基体材料9

6.4封装材料9

6.5材料兼容性10

6.6环保与安全要求10

7制造要求10

7.1总则10

T/CSCP0059.1-2025

7.2环境与设施10

7.3关键工艺控制10

7.4封装工艺11

7.5标识与可追溯性12

8测试要求12

8.1试验条件12

8.2外观和结构检查12

8.3电气性能测试12

8.4传感性能测试12

8.5环境适应性试验13

8.6电磁兼容性（EMC）试验13

8.7外壳防护等级试验13

8.8长期稳定性与寿命试验13

附录A14

附录B15

T/CSCP0059.1-2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件是T/CSCP0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》的第1部分。T/CSCP

0059-2025已经发布了以下部分：

——第1部分：通用要求;

——第2部分：选材与评价;

——第3部分：测试方法;

——第4部分：元器件选