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HotWorkingTechnology2019,Vol.48,No.16

參表面改性技术鲁

纳米压痕方法测量超薄钛薄膜弹性模量的研究

赵波慧u，刘燕萍\张跃飞2,吕俊霞3

(1.太原理工大学机械工程学院，山西太原030024;2.北京工业大学固体微结构与性能研究所，北京100124;3.北

京工业大学激光工程研究院，北京100124)

摘要：利用直流磁控派射(DCMS)在(100)方向的硅片上沉积厚度为60、90、120、180nm的钛薄膜。采用布鲁克

原子力显微镜(AFM)以及扫描电镜/扫描探针显微镜(SEM/SPM)联合测试系统分别对其进行纳米压痕试验，并通过赫

兹理论和King模型求得其弹性模量值。由布鲁克原子力显微镜(AFM)得到的结果表明，厚度为60〜180nm的钛薄膜

弹性模量在(95±2)GPa〜（132±6)GPa;对于同一厚度的钛薄膜，在不同的峰值力下，其弹性模量均随着压人深度的增

加而减小；而且对于不同厚度的钛薄膜，在相同的峰值力下，其弹性模量随薄膜厚度的增加而减小。另外，采用

SEM/SPM联合测试系统得到钛薄膜的弹性模量同样随着薄膜厚度的增大而减小。

关键词：纳米压痕；超薄钛薄膜；弹性模量；力学性能

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.16.022

中图分类号：TGMGJTGl15.5文献标识码：A文章编号：1001-3814(2019)16-0092-04

StudyonElasticModulusofUltra-thinTiFilmsMeasured

byNanoindentationMethod

ZHAOBohui13,LIUYanping1,ZHANGYuefei2,LYUJunxia3

(1.CollegeofMechanicalEngineering,TaiyuanUniversityofTechnology,Taiyuan030024,China;2.Instituteof

MicrostructureandPropertiesofAdvancedMaterials,BeijingUniversityofTechnology,Beijing100124,China;3.Instituteof

LaserEngineering,BeijingUniversityofTechnology,Beijing100124,China)

Abstract：Tinanofilmwiththethicknessof60,90,120and180nmwasdepositedonthe(100)siliconwaferbyusing

DCMS.ThenanoindentationexperimentsoftheabovenanofilmwerecarriedoutbutbytheAFMofBrukerandSEM/SPM

combinedsystem,respectively.BasedontheHertziancontacttheoryandKingmodel,theelasticmoduluswasobtained.The

resultsobtainedbyAFMofBrukershowthattheelasticmodulusofT